1.
Conference Proceedings |
Akheyar, A. ; Lauwers, A. ; Kitti, J.A. ; De Potter, M ; Chamirian, O. ; Jonckheere, R. ; Leunissen, P. ; van Dal, M ; Lindsay, R. ; Tempel, G. ; Maex, K.
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2.
Conference Proceedings |
2. Processing Damage and Electrical Performance of Porous Dielectrics in Narrow Spaced Interconnects
Iacopi, F. ; Travaly, Y. ; Stucchi, M. ; Struyf, H. ; Peeters, S. ; Jonckheere, R. ; Leunissen, L.H.A. ; Tokei, Zs. ; Sutcliffe, V. ; Richard, O. ; Hove, M.Van ; Maex, K.
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