V. S. Chang ; Y. Hou ; P. Hau ; P. Lim ; L. Yao ; F. Yen ; C. Hung ; H. Lin ; J. Jiang ; Y. Jin ; C. Chen ; H. Tao ; S. Chen ; S. Jang ; M. Liang
Pub. info.:
Atomic layer deposition : at the 208th ECS Meeting, October 16-21, 2005, Los Angeles, California, USA. pp.113-124, 2006. Pennington, N.J.. Electrochemical Society