1.
Conference Proceedings |
Elshocht, S.Van ; Brijs, B. ; Caymax, M. ; Conard, T. ; Gendt, S.De ; Kubicek, S. ; Meuris, M. ; Onsia, B. ; Richard, O. ; Teerlinck, I. ; Steenbergen, J.Van ; Zhao, C. ; Heyns, M.
|
|||||||
2.
Conference Proceedings |
2. Processing Damage and Electrical Performance of Porous Dielectrics in Narrow Spaced Interconnects
Iacopi, F. ; Travaly, Y. ; Stucchi, M. ; Struyf, H. ; Peeters, S. ; Jonckheere, R. ; Leunissen, L.H.A. ; Tokei, Zs. ; Sutcliffe, V. ; Richard, O. ; Hove, M.Van ; Maex, K.
|
|||||||
3.
Conference Proceedings |
De Jaeger, M. Meuris B. ; Kubicek, S. ; Verheyena, P. ; Van Steenbergen, J. ; Lujan, G. ; Kunnen, E. ; Sleeckx, E. ; Teerlinck, I. ; Van Elshocht, S. ; Delabie, A. ; Lindsay, R. ; Satta, A. ; Schram, T. ; Chiarella, T. ; Degraeve, R. ; Richard, O.
|
|||||||
4.
Conference Proceedings |
Petry, J. ; Vandervorst, W. ; Richard, O. ; Conard, T. ; DeWolf, P. ; Kaushik, V. ; Delabie, A. ; Elshocht, S.Van
|
|||||||
5.
Conference Proceedings |
Elshocht, S.Van ; Brijs, B. ; Caymax, M. ; Conard, T. ; Gendt, S.De ; Kubicek, S. ; Meuris, M. ; Onsia, B. ; Richard, O. ; Teerlinck, I. ; Steenbergen, J.Van ; Zhao, C. ; Heyns, M.
|