1.

Academic Journal
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1. 大電力パルスマグネトロンスパッタを用いた炭素系薄膜の特性
Characterization of Carbon Thin Films Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering
Norio NAWACHI ; 縄稚 典生 ; Koichi ITOH ; 伊藤 幸一 ; Yosuke ISAGI ; 井鷺 洋介 ; Yoshiaki YOSHIDA ; 吉田 善明 ; Keishi OKAMOTO ; 岡本 圭司 ; Tatsuyuki NAKATANI ; 中谷 達行
Pub. info.: 真空 : journal of the Vacuum Society of Japan.  60  (9),  pp.341-345,  2017.  東京.  真空協会
2.

Academic Journal
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2. 医療用ダイアモンド状炭素 (DLC) 成膜に最適な大電力パルスマグネトロンスパッタ (HiPIMS) 用パルス電源の開発
Development of Pulse Power Supplies as High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) Equipment Components for Medical Diamond Like Carbon (DLC) Film Fabrication Processes
Masahide KUROIWA ; 黒岩 雅英 ; Tatsuyuki NAKATANI ; 中谷 達行
Pub. info.: 真空 : journal of the Vacuum Society of Japan.  60  (9),  pp.372-375,  2017.  東京.  真空協会