Electron-beam, x-ray, and ion-beam lithographies VI : [proceedings] 5-6 March 1987, Santa Clara, California

責任表示:

Phillip D. Blais, chair

シリーズ名:

Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering

シリーズ巻号:

773

出版情報:

Bellingham, WA: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers, 1987

ISSN:

0277786X

ISBN:

9780892528080 [0892528087]

請求記号:

P63600/773

資料種別:

国際会議録