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Science and technology of chemical mechanical planarization (CMP) : symposium held April 14-16, 2009, San Francisco, California, U.S.A.

責任表示:
editors: Ashok Kumar ... [et al.]
シリーズ名:
Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号:
1157
出版情報:
Warrendale, Pa.: Materials Research Society, 2010
ISSN:
02729172
ISBN:
9781605111308 [1605111309]
請求記号:
M23500/1157
資料種別:
国際会議録
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