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Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA

責任表示:
editors, Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi, Modest M. Oprysko
シリーズ名:
Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号:
101
出版情報:
Pittsburgh, Pa.: Materials Research Society, 1988
ISSN:
02729172
ISBN:
9780931837692 [0931837693]
請求記号:
M23500/101
資料種別:
国際会議録
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