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Novel materials and processes for advances CMOS : symposium held December 2-4, 2002, Boston, Massachusetts, U.S.A.

責任表示:
editors, Mark I. Gardner ... [et al.]
シリーズ名:
Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号:
745
出版情報:
Warrendale, Pa.: Materials Research Society, 2003
ISSN:
02729172
ISBN:
9781558996823 [1558996826]
請求記号:
M23500/745
資料種別:
国際会議録
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