Proceedings of the tenth symposium on plasma processing

責任表示:

edited by G.S. Mathad, D.W. Hess ; [sponsored by] Dielectric Science and Technology and electronics Divisions, the Electrochemical Society

シリーズ名:

Electrochemical Society Proceedings Series

シリーズ巻号:

1994-20

出版情報:

Pennington, NJ: Electrochemical Society, 1994

ISSN:

01616374

ISBN:

9781566770774 [1566770777]

請求記号:

E23400/941901

資料種別:

国際会議録