1.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
1. MONOLITHISCHE HALBLEITERSCHALTER HOHER KOMPLEXITAT
Bachel, Erich ; Hersener, Jurgen ; Kohne, Jurgen ; Kuisl, Max ; Schluter, Klaus
出版情報: NASA Technical Reports.  (BMFT-FB-T-83-146),  pp.1-183,  1983.  National Aeronautics and Space Administration
2.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
2. Elektronenstrahlbelichtung fur hochintegrierte Schaltungen
Hersener, Jurgen ; Zimmermann, Harald
出版情報: NASA Technical Reports.  pp.1-93,  1983.  National Aeronautics and Space Administration