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学術雑誌

1. 第56回真空夏季大学開催報告
Report on the 56th Vacuum Summer School

Atsuhiro KUWAJIMA ; 桑島淳宏

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (3), pp.119-121, 2017. 東京. 真空協会

学術雑誌

2. 大気圧プラズマアクチュエータの流体制御によるメタン-水素改質の特性
Characteristic of the Methane-hydrogen Reforming by the Fluid Control Using DBD Plasma Actuator

Shotaro YAMANAKA ; 山中彰太郎 ; Masako SHINDO ; 眞銅雅子 ; Akiyoshi NAGATA ; 長田昭義

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (8), pp.334-337, 2017. 東京. 真空協会

学術雑誌

3. 水晶振動子プリアンプの恒温化と圧力センサ出力の安定性との相関
Correlation between Constant Temperature at the Preamp for a Quartz Oscillator and Stability of Pressure Sensor Output Using a Quartz Oscillator

Atsushi SUZUKI ; 鈴木淳

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (12), pp.499-501, 2017. 東京. 真空協会

学術雑誌

4. 吸引プラズマエッチング法を用いたSiO₂ダイアフラム構造作製技術の開発
Development of Simple Fabrication Method of SiO₂ Diaphragm Using Inward Plasma Etching

Ryo KANOU ; 狩野諒 ; Hiroshi SUGA ; 菅洋志 ; Shun'ichiro SHIMBORI ; 新堀俊一郎 ; Satoshi TAKAHASHI ; 高橋賢 ; Toshitaka KUBO ; 久保利隆 ; Atsushi ANDO ; 安藤淳 ; Tetsuo SHIMIZU ; 清水哲夫 ; Jun MIYAWAKI ; 宮脇淳

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (4), pp.148-152, 2017. 東京. 真空協会

学術雑誌

5. 大電力パルスマグネトロンスパッタを用いたナノクラスター超原子の生成技術
Fabrication Method for Nanocluster Superatoms with High-Power Impulse Magnetron Sputtering

Hironori TSUNOYAMA ; 角山寛規 ; Masahide TONA ; 戸名正英 ; Keizo TSUKAMOTO ; 塚本恵三 ; Atsushi NAKAJIMA ; 中嶋敦

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (9), pp.352-361, 2017. 東京. 真空協会

学術雑誌

6. 真空技術者資格認定試験の問題解説 (8)
Guidance for the Vacuum Engineer Examination (8)

Kazue TAKAHASHI ; 高橋主人

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (12), pp.507-510, 2017. 東京. 真空協会

学術雑誌

7. 電界放出陰極アレイを用いた超高感度平面撮像管の開発
Ultra-high Sensitivity Flat Image Pick-up Tube with Field Emitter Array

Masakazu NANBA ; 難波正和

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (1), pp.18-23, 2017. 東京. 真空協会

学術雑誌

8. スピン偏極 STM の発展の歴史と今後の課題
Spin-Polarized STM Overview and Issues for Next Developments

Toyo Kazu YAMADA ; 山田豊和

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (5), pp.159-164, 2017. 東京. 真空協会

学術雑誌

9. 生産規模でのプラズマイオン成膜プロセスの比較
Comparison of Plasma Ion Deposition Processes at Industrial Scale

Satoshi HIROTA ; 廣田悟史 ; Rainer CREMER ; クレーマライナー ; Tetsuya TAKAHASHI ; 高橋哲也

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (9), pp.362-364, 2017. 東京. 真空協会

10.

学術雑誌

10. 2017「青少年のための科学の祭典」東京大会 in 小金井への真空実験の出展報告
Report on Exhibition of Vacuum Experiments at the 2017 Youngsters' Science Festival in Koganei

Masuaki MATSUMOTO ; 松本益明

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (12), pp.514-516, 2017. 東京. 真空協会

11.

学術雑誌

11. 可搬型超高真空試料搬送導入装置の開発とその応用
Development of a Portable Ultrahigh-Vacuum Sample Transfer Vessel and Its Application

Eiichi KOBAYASHI ; 小林英一 ; Shukichi TANAKA ; 田中秀吉 ; Toshihiro OKAJIMA ; 岡島敏浩

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (4), pp.139-141, 2017. 東京. 真空協会

12.

学術雑誌

12. 真空エレクトロスプレーを用いるイオン銃の開発
Development of an Ion Gun Using Vacuum Electrospray

Satoshi NINOMIYA ; 二宮啓 ; Yuji SAKAI ; 境悠治 ; Lee Chuin CHEN ; チェンリーチュイン ; Kenzo HIRAOKA ; 平岡賢三

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (8), pp.321-327, 2017. 東京. 真空協会

13.

学術雑誌

13. 温水駆動による積層式Knudsenポンプの試作
Fabrication of Stackable Knudsen Pump Driven by Hot Water

Shota TAMURA ; 田村翔太 ; Hiroshi SUGIMOTO ; 杉元宏

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (12), pp.481-483, 2017. 東京. 真空協会

14.

学術雑誌

14. 微細加工で作るフィールドエミッタアレイ - 新しい応用に向けて -
Micro-fabricated Field Emitter Arrays - For New Applications -

Masayoshi NAGAO ; 長尾昌善

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (2), pp.47-54, 2017. 東京. 真空協会

15.

学術雑誌

15. スパッタリングプロセスにおける静的圧力分布, および動的圧力変化の実測
Measurement of Steady State Pressure Distribution and Dynamic Pressure Fluctuations During Sputtering Process

Shuichi TAJIRI ; 田尻修一 ; Takanori ONISHI ; 大西孝則 ; Yukiko OKANO ; 岡野夕紀子 ; Soichi OGAWA ; 小川倉一 ; Hiroshi MIMA ; 美馬宏司

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (6), pp.220-227, 2017. 東京. 真空協会

16.

学術雑誌

16. ダイヤモンド・ライク・カーボン (DLC)膜とその応用展開
Characteristics and Applications of Diamond Like Carbon (DLC) Films

Koji MIYAKE ; 三宅浩二

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (11), pp.428-436, 2017. 東京. 真空協会

17.

学術雑誌

17. International Vacuum Congress (IVC-20) における IUVSTA の理事会・総会報告
Report on the IUVSTA meetings at the 20th International Vacuum Congress (IVC-20)

Katsuyuki FUKUTANI ; 福谷克之 ; Yoshio SAITO ; 齊藤芳男 ; Yasunori TANIMOTO ; 谷本育律 ; Shuji HASEGAWA ; 長谷川修司

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (1), pp.24-25, 2017. 東京. 真空協会

18.

学術雑誌

18. 表面吸着分子における近藤効果 : 理論研究の視点から
Kondo Effect in Molecules on Surfaces: From Theoretical Point of View

Emi MINAMITANI ; 南谷英美

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (5), pp.170-175, 2017. 東京. 真空協会

19.

学術雑誌

19. 真空技術者資格認定試験の問題解説 (6)
Guidance for the Vacuum Engineer Examination (6)

Kazue TAKAHASHI ; 高橋主人

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (9), pp.376-379, 2017. 東京. 真空協会

20.

学術雑誌

20. 熱プラズマジェットを用いた熱処理技術の開発と電子デバイスプロセスへの応用
Development of Thermal Plasma Jet Induced Annealing Technology and Its Application to Electronic Device Fabrication

Seiichiro HIGASHI ; 東清一郎

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (3), pp.77-80, 2017. 東京. 真空協会

21.

学術雑誌

21. フィールドエミッタアレイの新しい応用技術 - 耐熱・耐放射線素子や光源応用に向けて -
Novel Applications of Field Emitter Arrays - Towards Electron Devices under Harsh Environments and Light Sources -

Yasuhito GOTOH ; 後藤康仁

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (2), pp.55-63, 2017. 東京. 真空協会

22.

学術雑誌

22. 真空技術者資格認定試験の問題解説 (4)
Guidance for the Vacuum Engineer Examination (4)

Kazue TAKAHASHI ; 高橋主人

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (5), pp.196-198, 2017. 東京. 真空協会

23.

学術雑誌

23. 真空技術者資格認定試験の問題解説 (7)
Guidance for the Vacuum Engineer Examination (7)

Kazue TAKAHASHI ; 高橋主人

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (10), pp.406-409, 2017. 東京. 真空協会

24.

学術雑誌

24. 電子線照射装置の工業利用への展開
Expansion of Industrial Use of Electron Beam Processing System

Yasuyuki OKUMURA ; 奥村康之

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (2), pp.64-67, 2017. 東京. 真空協会

25.

学術雑誌

25. 「堀越モデル」による長い配管の排気の考察
Evacuation Process for a Long Pipe using ‘Horikoshi-Model’

Osamu OKADA ; 岡田修

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (6), pp.228-233, 2017. 東京. 真空協会

26.

学術雑誌

26. 酸化物半導体ガスセンサのための材料作製技術 : 最近の研究動向
Material Production Technology for Oxide Semiconductor Gas Sensors: Recent Research Progress

Masatoshi KITAMURA ; 北村雅季

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (11), pp.415-420, 2017. 東京. 真空協会

27.

学術雑誌

27. 垂直磁気記録媒体用CoPt基合金-酸化物グラニュラー薄膜の柱状成長臨界膜厚の評価
Critical Layer Thickness for Columnar Growth Nanostructures of CoPt-based Alloy-Oxide Granular Media used for Perpendicular Magnetic Recording

Shingo SASAKI ; 佐々木晋五 ; Yuzo SASAKI ; 佐々木有三 ; Shin SAITO ; 斉藤伸

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (3), pp.112-118, 2017. 東京. 真空協会

28.

学術雑誌

28. 酸化グラフェン塗布膜の高次還元と高移動度化
High Degree Reduction of Graphene Oxide toward a High Carrier Mobility

Seiji OBATA ; 小幡誠司 ; Minoru SATO ; 佐藤稔 ; Koichiro SAIKI ; 斉木幸一朗

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (8), pp.300-306, 2017. 東京. 真空協会

29.

学術雑誌

29. 流路長の長い矩形スリットのコンダクタンス測定
Conductance of a Long Rectangular Channel -Pressure Dependence -

Norio OGIWARA ; 荻原徳男 ; Yusuke HIKICHI ; 引地裕輔 ; Junichiro KAMIYA ; 神谷潤一郎 ; Michikazu KINSHO ; 金正倫計 ; Hajime YOSHIDA ; 吉田肇 ; Kenta ARAI ; 新井健太

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (12), pp.475-480, 2017. 東京. 真空協会

30.

学術雑誌

30. 低エネルギー電子ビームによるペットボトル滅菌技術
Low Energy Electron Beam Sterilization Process for Plastic Drink Containers

Ichiro SAKAI ; 坂井一郎

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (2), pp.40-46, 2017. 東京. 真空協会

31.

学術雑誌

31. 真空計測における Japan Calibration Service System : 計量法に基づく校正事業者登録制度(JCSS)への取り組み, 「誤差」から「トレーサビリティー」と「不確かさ」へ
Efforts to Japan Calibration Service System (JCSS) in Vacuum Measurement, from the “Error” and “Traceability” to the “Uncertainty”

Takahide HORI ; 堀隆英 ; Hideki YOSHIZAWA ; 吉澤秀樹 ; Tomonari TANAKA ; 田中智成

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (5), pp.182-186, 2017. 東京. 真空協会

32.

学術雑誌

32. 半導体表面における光励起キャリアダイナミクスの時間・空間分解計測
Spatio-temporal Observation of Photogenerated Carrier Dynamics on a Semiconductor Surface

Keiki FUKUMOTO ; 福本恵紀

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (10), pp.388-391, 2017. 東京. 真空協会

33.

学術雑誌

33. 真空浸炭における雰囲気制御の実際
Atmosphere Control during Low-Pressure Carburizing

Kazuki KAWATA ; 河田一喜

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (3), pp.96-101, 2017. 東京. 真空協会

34.

学術雑誌

34. X線照射下におけるフィールドエミッタアレイの動作特性評価装置
System for Evaluation of Electron Emission Properties of Field Emitter Arrays under X-ray Irradiation

Yasuhito GOTOH ; 後藤康仁 ; Hiroshi TSUJI ; 辻博司 ; Masayoshi NAGAO ; 長尾昌善 ; Masafumi AKIYOSHI ; 秋吉優史 ; Ikuji TAKAGI ; 高木郁二

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (8), pp.328-333, 2017. 東京. 真空協会

35.

学術雑誌

35. 走査トンネル顕微鏡を用いた単層酸化グラフェンのナノスケール観察
Nanoscale Observation of a Single Graphene Oxide layer Using Scanning Tunneling Microscopy

Satoshi KATANO ; 片野諭 ; Tao WEI ; 魏濤 ; Takumi SASAJIMA ; 笹嶋匠 ; Yoichi UEHARA ; 上原洋一

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (12), pp.495-498, 2017. 東京. 真空協会

36.

学術雑誌

36. 尖鋭構造を持たない炭素膜からの電界放出
Field Emission from Carbon Films with No Protrusions with High Aspect Ratios

Shota HORIE ; 堀江翔太 ; Ken ASANAGI ; 麻薙健 ; Takuma MYOJIN ; 明神拓真 ; Toshiharu HIGUCHI ; 樋口敏春 ; Yoichi YAMADA ; 山田洋一 ; Masahiro SASAKI ; 佐々木正洋

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (1), pp.13-17, 2017. 東京. 真空協会

37.

学術雑誌

37. ミニマルファブのための小型HiPIMS型スパッタ成膜装置の開発
Development of Miniature Sputtering Deposition Equipment for Minimal Fab with HiPIMS Operations

Hisato OGISO ; 小木曽久人 ; Ken YUKIMURA ; 行村建 ; Shizuka NAKANO ; 中野禅 ; Hiroyuki TANAKA ; 田中宏幸 ; Sommawan KHUMPUANG ; クンプアンソマワン ; Yuuki YABUTA ; 薮田勇気 ; Ryuichiro KAMEI ; 亀井龍一郎 ; Shiro HARA ; 原史朗

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (9), pp.365-371, 2017. 東京. 真空協会

38.

学術雑誌

38. 表面処理のための大気圧直線型マイクロ波プラズマ
Atmospheric Pressure Linear Microwave Plasma for Surface Treatment of Materials

Haruo SHINDO ; 進藤春雄 ; Hiroshi KUWAHATA ; 桑畑周司 ; Masao ISOMURA ; 磯村雅夫

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (3), pp.105-111, 2017. 東京. 真空協会

39.

学術雑誌

39. 4H-SiCエピ層中の転位
Dislocations in 4H-SiC Epilayers

Hiroyasu SAKA ; 坂公恭

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (8), pp.285-291, 2017. 東京. 真空協会

40.

学術雑誌

40. コンピュータシミュレーションによる粉体および線材へのイオン注入分布の一般則
Universal Expression of Projected Range Distributions for Spherical and Cylindrical Shape Target by Computer Simulation

Shotaro TAWARA ; 田原憧太郎 ; Yukio YAMAMOTO ; 山本幸男 ; Masakazu ARAKAWA ; 荒川正和 ; Satoshi SAIJO ; 西城理志 ; Junsei HORIKAWA ; 堀川隼世 ; Tomoaki YONEDA ; 米田知晃

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (12), pp.463-466, 2017. 東京. 真空協会

41.

学術雑誌

41. スパッタ法におけるイオン照射効果制御を用いた薄膜形成技術の開発
Development of Thin Film Formation Technique Using Ion Irradiation Effect Control in Sputtering Method

Hiroshi TOYOTA ; 豊田宏

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (3), pp.81-84, 2017. 東京. 真空協会

42.

学術雑誌

42. 計算科学的手法による氷表面上での水素分子の吸着特性の解明
A Density Functional Theory Study of Adsorption States of Hydrogen Molecules on Ice Surfaces

Yuji KUNISADA ; 國貞雄治

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (7), pp.249-255, 2017. 東京. 真空協会

43.

学術雑誌

43. 表面処理したアルミニウム合金のガス放出特性 - 開発した測定装置の性能評価とガス放出速度測定 -
Outgassing Properties of Aluminum Alloy with Surface Treatment - Performance Assessment of Developed Measurement System and Outgassing Rate Measurement -

Naoki OGAWA ; 小川直樹 ; Koji YOKOYAMA ; 横山浩司 ; Hidenobu TERAOKA ; 寺岡秀展 ; Takashi ISHII ; 石井高志 ; Kanako HARIMA ; 播間かな子 ; Moriyoshi GOTO ; 後藤守良 ; Ryouji KITTAKA ; 橘高怜治

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (11), pp.450-456, 2017. 東京. 真空協会

44.

学術雑誌

44. プラズマ化学気相堆積におけるグラフェン成長過程の偏光解析モニタリング
Ellipsometric Monitoring of First Stages of Graphene Growth in Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

Yasuaki HAYASHI ; 林康明 ; Satoshi ISHIDOSHIRO ; 石徹白智 ; Shinya YAMADA ; 山田隼也 ; Yuma KAWAMURA ; 河村侑馬

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (4), pp.135-138, 2017. 東京. 真空協会

45.

学術雑誌

45. SiC 結晶成長における数値解析の最近の発展
Recent Developments of Numerical Calculation in Crystal Growth of SiC

Koichi KAKIMOTO ; 柿本浩一 ; Satoshi NAKANO ; 中野智

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (8), pp.313-320, 2017. 東京. 真空協会

46.

学術雑誌

46. 三極管型電離真空計の比感度係数に及ぼす空間電荷の影響
Influence of Space Charge on the Relative Sensitivity Coefficient of a Triode Gauge

Shigemi SUGINUMA ; 杉沼茂実 ; Masahiro HIRATA ; 平田正紘 ; Tokihiko KOBATA ; 小畠時彦

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (12), pp.490-494, 2017. 東京. 真空協会

47.

学術雑誌

47. International Vacuum Congress (IVC-20)の会議報告IVC-20 SEセッション報告
Report on the 20th International Vacuum Congress (IVC-20): Report on Surface Engineering Session at IVC-20

Masahiro TOSA ; 土佐正弘

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (2), pp.68-69, 2017. 東京. 真空協会

48.

学術雑誌

48. 真空技術基礎演習講座 (2) - 気体分子運動論・真空と表面・希薄気体の流れ (2), 真空部品と可動機構・真空システム・成膜とプラズマの基礎 -
Problem-Solving Exercise for Basic Understanding of Vacuum Science and Technology (2)

Kyo SHIBATA ; 柴田恭

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (6), pp.212-219, 2017. 東京. 真空協会

49.

学術雑誌

49. 創エネ・省エネデバイスを目指す異種半導体材料の貼りあわせ
Bonding of Dissimilar Semiconductor Materials for Energy-Harvesting and Energy-Saving Devices

Naoteru SHIGEKAWA ; 重川直輝

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (11), pp.421-427, 2017. 東京. 真空協会

50.

学術雑誌

50. イリジウム被覆型プローブの開発
Development of an Iridium-coated Probe

Koichi MIYAZONO ; 宮園浩一 ; Toshitaka YORITA ; 頼田俊孝 ; Masayuki YAMAUCHI ; 山内将行 ; Yoshihiro MASUI ; 升井義博 ; Hiroshi TOYOTA ; 豊田宏 ; Masaki KOIKE ; 小池正記 ; Takeshi TANAKA ; 田中武

出版情報:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan. 60 (3), pp.92-95, 2017. 東京. 真空協会

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