1.

国際会議録
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1. Influence of mask induced polarization effects on a pattern printability
Ishimaru, T. ; Matsuura, S. ; Seki, M. ; Fujii, K. ; Koizumi, R. ; Hakataya, Y. ; Moriya, A.
出版情報: Optical microlithography XVIII : 1-4 March, 2005, San Jose, California, USA.  pp.576-586,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5754
2.

国際会議録
国際会議録
2. Investigation of polarization effects on new mask materials
Itakura, Y. ; Kawasa, Y. ; Wakabayashi, O. ; Moriya, M. ; Nagai, S. ; Sumitani, A. ; Hagiwara, T. ; Ishimaru, T. ; Tsuji, S. ; Fujii, K. ; Wakamiya, W.
出版情報: Optical microlithography XVIII : 1-4 March, 2005, San Jose, California, USA.  pp.587-598,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5754
3.

国際会議録
国際会議録
3. Novel Wet Taper Etching of Interconnects on Large Area Substrates Using Galvanic Reaction
Kaneko, T. ; Hashimoto, Y. ; Ono, K. ; Fujii, K. ; Onisawa, K.
出版情報: Thin Film Transistor Technologies V : proceedings of the International Symposium.  pp.160-168,  2000.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-31
4.

国際会議録
国際会議録
4. Novel testing scheme for selection of capacitive fingerprint sensor LSIs
Shimamura, T. ; Morimura, H. ; Unno, H. ; Fujii, K. ; Shigematsu, S. ; Machida, K. ; Kyuragi, H.
出版情報: Design, characterization, and packaging for MEMS and microelectronics II : 17-19 December, 2001, Adelaide, Australia.  pp.23-30,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4593
5.

国際会議録
国際会議録
5. Recording and reconstruction of 3D color images of practical objects by phase-shifting holography [6030-05]
Hamada, Y. ; Sato, K. ; Morimoto, M. ; Fujii, K.
出版情報: ICO20 : display devices and systems : 21-26 August, 2005, Changchun, China.  pp.603005-603005,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6030
6.

国際会議録
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6. Reconstruction of full-color images with a RGB time-sharing holographic display system [6030-04]
Sato, K. ; Sugita, A ; Morimoto, M. ; Fujii, K.
出版情報: ICO20 : display devices and systems : 21-26 August, 2005, Changchun, China.  pp.603004-603004,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6030
7.

国際会議録
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7. Information reduction in hologram and a 3D display with a movable light source [6030-06]
Hamada, M. ; Sato, K. ; Morimoto, M. ; Fujii, K.
出版情報: ICO20 : display devices and systems : 21-26 August, 2005, Changchun, China.  pp.603006-603006,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6030
8.

国際会議録
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8. Development of high-speed laser soldering process for lead-free solder with diode laser
Wang, J. ; Watanabe, M. ; Goto, Y. ; Fujii, K. ; Kuriaki, H. ; Satoh, M. ; Ikeda, J. ; Fujimoto, K.
出版情報: First International Symposium on High-Power Laser Macroprocessing : 27-31 May 2002, Osaka, Japan.  pp.26-31,  2003.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4831
9.

国際会議録
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9. Effect of Cyclopentadienyl Fragment in Polymerization of Ethylene, Propylene, and Styrene by Nonbridged Half-Metalloce Type Titanium and Zirconium Complexes of the Type, Cp'MCl2 [N(2,6-Me2 C6 H3)(SiMe3)], -MAO Catalyst Systems
Nomura, K. ; Fujii, K.
出版情報: Science and technology in catalysis 2002 : proceedings of the Fourth Tokyo Conference on Advanced Catalytic Science and Technology, Tokyo, July 14-19, 2002.  pp.121-124,  2003.  Amsterdam.  Elsevier
シリーズ名: Studies in surface science and catalysis
シリーズ巻号: 145
10.

国際会議録
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10. Development of support systems for pathology using spectral transmittance: the quantification method of stain conditions
Fujii, K. ; Yamaguchi, M. ; Ohyama, N. ; Mukai, K.
出版情報: Medical Imaging 2002 : image processing : 24-28 February 2002, San Diego, USA.  Part Three  pp.1516-1523,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4684
11.

国際会議録
国際会議録
11. Current status of 157-nm lithography using a full-field scanner
Ishimaru, T. ; Matsuura, S. ; Seki, M. ; Fujii, K. ; Koizumi, R. ; Hakataya, Y. ; Moriya, A.
出版情報: Optical microlithography XVIII : 1-4 March, 2005, San Jose, California, USA.  pp.1260-1268,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5754
12.

国際会議録
国際会議録
12. Development and evaluation of an F2 laser for immersion interference lithography at 157 nm
Itakura, Y. ; Kawasa, Y. ; Wakabayashi, O. ; Moriya, M. ; Nagai, S. ; Sumitani, A. ; Hagiwara, T. ; Ishimaru, T. ; Tsuji, S. ; Fujii, K. ; Wakamiya, W.
出版情報: Optical microlithography XVIII : 1-4 March, 2005, San Jose, California, USA.  pp.1269-1278,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5754
13.

国際会議録
国際会議録
13. Relaxation of SiGe Films for the Fabrication of Strained Si Devices
Maa, J. S. ; Tweet, D. J. ; Lee, J. J. ; Hsu, S. T. ; Fujii, K. ; Naka, T. ; Ueda, T. ; Baba, T. ; Awaya, N. ; Sakiyama, K.
出版情報: Intergration of heterogeneous thin-film materials and devices : symposium held April 23-24, 2003, San Francisco, California, U.S.A..  pp.3-8,  2003.  Warrendale, PA.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 768
14.

国際会議録
国際会議録
14. Relaxation of SiGe Films for the Fabrication of Strained Si Devices
Maa, J. S. ; Tweet, D. J. ; Lee, J. J. ; Hsu, S. T. ; Fujii, K. ; Naka, T. ; Ueda, T. ; Baba, T. ; Awaya, N. ; Sakiyama, K.
出版情報: CMOS front-end materials and process technology : symposium held April 22-24, 2003, San Francisco, California, U.S.A..  pp.135-140,  2003.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 765
15.

国際会議録
国際会議録
15. Electric Actuators for H-IIA Rocket TVC Systems
Fujii, K. ; Suzuki, Y. ; Mugitani, T
出版情報: 4th ESA International Conference on Spacecraft Guidance, Navigation, and Control Systems : and tutorial on modern and robust control, theory, tools and applications, 18-21 October 1999, ESTEC, Noordwijk, The Netherlands.  pp.575-578,  2000.  Noordwijk, Netherlands.  ESA Publications Division
シリーズ名: ESA SP
シリーズ巻号: 425
16.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
16. Reliable Ascent Flight Experiment: RAFLEX
Fujii, K. ; Ishimoto, S. ; Shimura, K.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2005.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : International Space Planes and Hypersonic Systems and Technologies Conference
シリーズ巻号: 13th
17.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
17. CFD Prediction of the Aerodynamic Characteristics of Capsule-Like Configurations for the Future SSTO Development.
Fujimoto, K. ; Fujii, K. ; Tsuboi, N.
出版情報: AIAA paper.  2003.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : Aerospace Sciences Meeting and Exhibit
シリーズ巻号: 2003
18.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
18. Flow Classification of the Under-Expanded Super Sonic Jet Impinging on a Flat Plate.
Nakai, Y. ; Fujimatsu, N. ; Fujii, K.
出版情報: AIAA paper.  2003.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Fluid Dynamics Conference
シリーズ巻号: 2003
19.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
19. An Experiment of Two Dimensional Roughness Effect on Hypersonic Boundary-Layer Transition
Fujii, K.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2005.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : Aerospace Sciences Meeting and Exhibit
シリーズ巻号: 43rd
20.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
20. Development of Realistic Optimization Method of TSTO Spaceplane - Multi-Objective and Robust Optimization
Shimoyama, K. ; Fujii, K. ; Kobayashi, H.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2004.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : Multidisciplinary Analysis and Optimization Conference
シリーズ巻号: 10th
21.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
21. PSP Measurements in the Large-Scale Transonic Wind Tunnel and Associated Image Data Processing
Ouchi, H. ; Irikado, T. ; Fujii, K. ; Hayashi, K.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2005.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : Aerospace Sciences Meeting and Exhibit
シリーズ巻号: 43rd
22.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
22. Pareto-Optimality-Based Constraint-Handling Technique and Its Application to Compressor Design
Oyama, A. ; Fujii, K. ; Shimoyama, K. ; Liou, M.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2005.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Computational Fluid Dynamics Conference
シリーズ巻号: 17th
23.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
23. Numerical Investigations of the Side Fence Effect on Linear Plug Nozzle Performance
Ito, T. ; Fujii, K. ; Hagemann, G.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2004.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference and Exhibit
シリーズ巻号: 40th
24.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
24. Numerical Analysis of the Base Bleed Effect on the Aerospike Nozzles.
Ito, T. ; Fujii, K.
出版情報: AIAA paper.  2002.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : Aerospace Sciences Meeting and Exhibit
シリーズ巻号: 2002
25.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
25. Prediction of a Thin-Airfoil Stall Phenomenon Using LES/RANS Hybrid Methodology with Compact Difference Scheme
Kawai, S. ; Fujii, K.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2004.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Fluid Dynamics Conference
シリーズ巻号: 34th
26.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
26. Application of High-Order Compact Difference Scheme to Vortical Flow Computation over a Delta and Double-Delta Wings
Arasawa, T. ; Fujii, K. ; Miyaji, K.
出版情報: A collection of technical papers : 16th AIAA Computational Fluid Dynamics Conference, Orlando, Florida 23-26 June 2003.  v. 1  pp.222-229,  2003.  Reston, Va..  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Computational Fluid Dynamics Conference
シリーズ巻号: 2003
27.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
27. Design Study on a Small-Sized Partially Reusable Launch System
Minami, Y. ; Ishimoto, S. ; Mori, T. ; Fujii, K.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2005.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : International Space Planes and Hypersonic Systems and Technologies Conference
シリーズ巻号: 13th
28.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
28. Numerical Analysis of the Aerodynamic Characteristics of SSTO Configurations with an Aerospike Nozzle
Tsukada, H. ; Fujimoto, K. ; Nonomura, T. ; Miyaji, K. ; Fujii, K.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2005.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : Aerospace Sciences Meeting and Exhibit
シリーズ巻号: 43rd
29.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
29. Measurement and Analysis of an Efficient Turbine Rotor Pump Work Reduction System Incorporating Pre-Swirl Nozzles and a Free Pressure Augmentation Chamber.
Laurello, V. ; Yuri, M. ; Fujii, K. ; Ishizaka, K. ; Nakamura, T.
出版情報: A.S.M.E. paper.  2004.  New York, NY.  American Society of Mechanical Engineers
シリーズ名: ASME Technical Paper : GT
シリーズ巻号: 2004
30.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
30. Effects of Number of Stores on the Transonic Flutter Characteristics of a Delta Wing Configuration
Terashima, H. ; Fujii, K.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2004.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Fluid Dynamics Conference
シリーズ巻号: 34th
31.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
31. Application to Engine Development of Friction Analysis by Piston Secondary Motion Simulation in Consideration of Cylinder Block Bore Distortion.
Sato, K. ; Fujii, K. ; Ito, M. ; Koda, S.
出版情報: 2006 SAE world congress : technical paper.  2006.  Warrendale, Penn..  Society of Automotive Engineers
シリーズ名: Society of Automotive Engineers technical paper series
シリーズ巻号: 2006
32.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
32. Computatinal Analysis of the Characteristics of Subsonic, Transonic and Supersonic Base Flows
Kawai, S. ; Fujii, K.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2005.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Fluid Dynamics Conference
シリーズ巻号: 35th
33.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
33. Computational Analysis of the Effective Secondary-Flow Injections for the Plug-Nozzle Drag Reduction
Negishi, H. ; Fujii, K.
出版情報: AIAA paper.  2003.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Fluid Dynamics Conference
シリーズ巻号: 2003
34.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
34. Computational Analysis of the Secondary Flow Injection for the Drag Reduction of the Plug Nozzle.
Fujii, K. ; Negishi, H. ; Nakabeppu, O.
出版情報: AIAA paper.  2002.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Fluid Dynamics Conference
シリーズ巻号: 2002
35.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
35. Effect of Module Clustering on the Aerospike Nozzle Performance.
Ito, T. ; Fujii, K.
出版情報: AIAA paper.  2002.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Fluid Dynamics Conference
シリーズ巻号: 2002
36.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
36. WEB- CFD and Beyond- CFD for non- CFD Researchers-
Fujii, K. ; Miyaji, K.
出版情報: AIAA paper.  2002.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : Aerospace Sciences Meeting and Exhibit
シリーズ巻号: 2002
37.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
37. Aerodynamic Heating Measurements on Nose and Elevon of Hypersonic Flight Experiment Vehicle
Fujii, K. ; Watanabe, S. ; Kurotaki, T. ; Shirouzu, M.
出版情報: AIAA paper.  pp.1-10,  2000.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : Aerospace Sciences Meeting and Exhibit
シリーズ巻号: 2000
38.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
38. Multi-Stage Solid Oxide Fuel Cell - Gas Turbine Combined Cycle Hybrid Power Plant System.
Tsuji, T. ; Yanai, N. ; Fujii, K. ; Miyamoto, H. ; Watabe, M.
出版情報: A.S.M.E. paper.  2003.  New York, NY.  American Society of Mechanical Engineers
シリーズ名: ASME Technical Paper : GT
シリーズ巻号: 2003
39.

国際会議録
国際会議録
39. Optimization of the chromium-shielding attenuated phase shift mask for 157-nm lithography
Kurose, E. ; Watanabe, K. ; Suganaga, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.603-614,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
40.

国際会議録
国際会議録
40. Information reduction in hologram and reconstruction of real-time 3D images
Sato, K. ; Hamada, Y. ; Morimoto, M. ; Fujii, K.
出版情報: Practical Holography XIX: Materials and Applications.  pp.120-129,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5742
41.

国際会議録
国際会議録
41. 3D display with wide viewing zone using holograms with reduced information [6136-13]
Hamada, S. ; Sato, K. ; Morimoto, M. ; Fujii, K.
出版情報: Practical Holography XX: Materials and Applications.  pp.61360D-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6136
42.

国際会議録
国際会議録
42. Reconstruction of color images of high quality by a holographic display [6136-33]
Sato, K. ; Sugita, A. ; Morimoto, M. ; Fujii, K.
出版情報: Practical Holography XX: Materials and Applications.  pp.61360V-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6136
43.

国際会議録
国際会議録
43. Change in size of 3D image using a periodic Fourier transform hologram
Sato, K. ; Nakazaki, S. ; Morimoto, M. ; Fujii, K.
出版情報: Practical Holography XVII and Holographic Materials IX.  pp.398-405,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5005
44.

国際会議録
国際会議録
44. Information reduction in holograms by superimposing spatial frequency bands
Nakazaki, S. ; Sato, K. ; Morimoto, M. ; Fujii, K.
出版情報: Practical Holography XVII and Holographic Materials IX.  pp.406-413,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5005
45.

国際会議録
国際会議録
45. Full-color holographic display and recording of 3D images
Sugita, A. ; Sato, K. ; Morimoto, M. ; Fujii, K.
出版情報: Practical Holography XIX: Materials and Applications.  pp.130-139,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5742
46.

国際会議録
国際会議録
46. Optical amplification properties of a cyanine-dye-doped DNA-lipid complex fiber
Ishihara, K. ; Kumakura, Y. ; Hameed, A.S.H. ; Zhang, G. ; Eguchi, M. ; Ishikawa, T. ; Abe, H. ; Watanabe, A. ; Fukagawa, T. ; Kagami, Y. ; Fujii, K. ; Wang, L. ; Ogata, N. ; Horinouchi, S.
出版情報: Organic Photonic Materials and Devices V.  pp.166-174,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4991
47.

国際会議録
国際会議録
47. Fluoropolymers for 157-nm single-layer resists developed using a new etching rate estimation model (KI-Model)
Kawaguchi, Y. ; Sasaki, T. ; Irisawa, J. ; Yokokoji, O. ; Irie, S. ; Otoguro, A. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.525-532,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
48.

国際会議録
国際会議録
48. Advances in resist pattern transfer process using 157-nm lithography
Furukawa, T. ; Hagiwara, T. ; Kawaguchi, E. ; Matsunaga, K. ; Suganaga, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.1064-1073,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
49.

国際会議録
国際会議録
49. Airborne contamination control for 157-nm lithography: influence of ammonia contamination
Matsui, H. ; Kitano, J. ; Yoshihara, K. ; Kawaguchi, E. ; Furukawa, T. ; Matsunaga, K. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.1074-1081,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
50.

国際会議録
国際会議録
50. Hologram bandwidth reduction and size change of 3D images for visual display
Sato, K. ; Nakazaki, S. ; Morimoto, M. ; Fujii, K.
出版情報: Practical Holography XVIII: Materials and Applications.  pp.81-89,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5290
51.

国際会議録
国際会議録
51. 157-nm lithography with extremely high numerical aperture lens for 45-nm technology node
Suganaga, T. ; Lee, J.-W. ; Kurose, E. ; Ishimaru, T. ; Furukawa, T. ; Itani, T. ; Fujii, K. ; Cashmore, J.S. ; Gower, M.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.104-115,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
52.

国際会議録
国際会議録
52. Real-time color holography with high-resolution reflective LCD panels
Nakazaki, S. ; Sato, K. ; Morimoto, M. ; Fujii, K.
出版情報: Practical Holography XVIII: Materials and Applications.  pp.50-57,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5290
53.

国際会議録
国際会議録
53. 157-nm chromeless phase lithography with extremely high numerical aperture
Watanabe, K. ; Hagiwara, T. ; Matsuura, S. ; Suganaga, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.537-544,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
54.

国際会議録
国際会議録
54. 157-nm chromeless phase lithography for 45-nm SRAM gate
Suganaga, T. ; Watanabe, K. ; Matsuura, S. ; Hagiwara, T. ; Furukawa, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.1616-1626,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
55.

国際会議録
国際会議録
55. Evaluation systems of F2 laser lithography materials
Itakura, Y. ; Kawasa, Y. ; Egawa, K. ; Sumitani, A. ; Sasaki, H. ; Higasikawa, I. ; Irie, S. ; Fujii, K. ; Itani, T. ; Nakano, H. ; Hata, H.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.1606-1615,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
56.

国際会議録
国際会議録
56. Evaluation of outgassing from a fluorinated resist for 157-nm lithography
Irie, S. ; Fujii, K. ; Itakura, Y. ; Kawasa, Y. ; Egawa, K. ; Uchino, I. ; Sumitani, A. ; Itani, T.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.226-237,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
57.

国際会議録
国際会議録
57. 157-nm resist assessment by a full-field scanner
Otoguro, A. ; Irie, S. ; Ishimaru, T. ; Suganaga, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.245-253,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
58.

国際会議録
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58. Characterization of TFE/norbornene-based fluoropolymer resist for 157-nm lithography
Hagiwara, T. ; Furukawa, T. ; Itani, T. ; Fujii, K. ; Ishikawa, T. ; Koh, M. ; Kodani, T. ; Moriya, T. ; Yamashita, T. ; Araki, T. ; Toriumi, M. ; Aoyama, H.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.159-168,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
59.

国際会議録
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59. A new monocyclic fluropolymer structure for 157-nm photoresists
Takebe, Y. ; Eda, M. ; Okada, S. ; Yokokoji, O. ; Irie, S. ; Otoguro, A. ; Fujii, K. ; Itani, T.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.151-158,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
60.

国際会議録
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60. The dissolution behavior of tetrafluoroethylene-based fluoropolymers for 157-nm resist materials
Ishikawa, T. ; Kodani, T. ; Koh, M. ; Moriya, T. ; Araki, T. ; Aoyama, H. ; Yamashita, T. ; Toriumi, M. ; Hagiwara, T. ; Furukawa, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.169-177,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
61.

国際会議録
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61. 157-nm single-layer resist based on novel monocyclic fluorinated polymer
Otoguro, A. ; Irie, S. ; Itani, T. ; Fujii, K. ; Takebe, Y. ; Kawaguchi, Y. ; Yokokoji, O.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.186-195,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376