1.

国際会議録

国際会議録
Lukyanchikova, N. R. ; Garbar, N. ; Smolanka, A. ; Simoen, E. ; Mercha, A. ; Claeys, C.
出版情報: Noise in devices and circuits II : 26-28 May 2004, Maspalomas, Gran Canaria, Spain.  pp.208-214,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5470
2.

国際会議録

国際会議録
Mercha, A. ; Simoen, E. ; Decoutere, S. ; Claeys, C.
出版情報: Noise in devices and circuits II : 26-28 May 2004, Maspalomas, Gran Canaria, Spain.  pp.193-207,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5470
3.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Claeys, C. ; Job, R. ; Ulyashin, A.G. ; Fahrner, W.R. ; Tonelli, G. ; Degryse, O. ; Clauws, P.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.912-924,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
4.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Claeys, C. ; Job, R. ; Ulyashin, A.G. ; Fahrner, W.R. ; Tonelli, G. ; Degryse, O. ; Clauws, P.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.912-926,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
5.

国際会議録

国際会議録
Poyai, A. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Rooyackers, R. ; Badenes, G. ; Gaubas, E.
出版情報: High Purity Silicon VI : proceedings of the sixth International Symposium.  pp.403-413,  2000.  Bellingham, Wash..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-17
6.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Mercha, A. ; Claeys, C.
出版情報: Silicon nitride and silicon dioxide thin insulating films VII : proceedings of the international symposium.  pp.153-172,  2003.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-2
7.

国際会議録

国際会議録
Camillo, L.M. ; Martino, J.A. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: Silicon-on-insulator technology and devices XII : proceedings of the international symposium.  pp.119-124,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-03
8.

国際会議録

国際会議録
Srinivasan, P. ; Simoen, E. ; Pantisano, L. ; Claeys, C. ; Misra, D.
出版情報: Advanced gate stack, source/drain and channel engineering for Si-based CMOS, new materials, processes, and equipment : proceedings of the international symposium.  pp.151-160,  2005.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-05
9.

国際会議録

国際会議録
Poyai, A. ; Rittaporn, I. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Rooyackers, R.
出版情報: High purity silicon VIII : proceedings of the international symposium.  pp.307-316,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-05
10.

国際会議録

国際会議録
Ulyashin, A. ; Simoen, E. ; Camel, L. ; De Wolf, S. ; Dekkers, H. ; Rafi, J.M. ; Beaucarne, G. ; Poortmans, J. ; Claeys, C.
出版情報: High purity silicon VIII : proceedings of the international symposium.  pp.334-345,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-05
11.

国際会議録

国際会議録
Neimash, M.V. ; Kras'ko, M. ; Kraitchinskii, A, ; Voytovych, V. ; Kabaldin, O. ; Tsmots, V. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: High purity silicon VIII : proceedings of the international symposium.  pp.286-294,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-05
12.

国際会議録

国際会議録
Martino, J.A. ; Rafi, J.M. ; Mercha, A. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: High purity silicon VIII : proceedings of the international symposium.  pp.346-356,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-05
13.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Claeys, C. ; Neimash, V.B. ; Kraitchinskii, A. ; Kras'ko, M. ; Puzenko, O. ; Blondeel, A. ; Clauws, P.
出版情報: High Purity Silicon VI : proceedings of the sixth International Symposium.  pp.223-235,  2000.  Bellingham, Wash..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-17
14.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Rafi, J.M. ; Mercha, A. ; De Meyer, K. ; Claeys, C. ; Kokkoris, M. ; Kossionides, E. ; Fanourakis, G. ; Mohhaindzadeh, A.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2003 : proceedings of the eighteenth international symposium.  pp.18-27,  2003.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-9
15.

国際会議録

国際会議録
David, M.-L. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Neimash, V. ; Kras'ko, M. ; Kraitchinski, A. ; Voytovuch, V. ; Tishcenko, V. ; Barbot, J.F.
出版情報: High purity silicon VIII : proceedings of the international symposium.  pp.395-406,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-05
16.

国際会議録

国際会議録
Evtukh, A. ; Kizjak, A. ; Litovchenko, V. ; Claeys, C. ; Simoen, E.
出版情報: Science and technology of semiconductor-on-insulator structures and devices operating in a harsh environment.  pp.221-226,  2005.  Dordrecht.  Kluwer Academic Publishers
シリーズ名: NATO science series. Series 2, Mathematics, physics and chemistry
シリーズ巻号: 185
17.

国際会議録

国際会議録
Claeys, C. ; Simoen, E.
出版情報: Advanced short-time thermal processing for Si-based CMOS devices : proceedings of the international symposium.  pp.50-65,  2004.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-01
18.

国際会議録

国際会議録
Job, R. ; Ulyashin, A.G. ; Huang, Y.L. ; Fahrner, W.R. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Niedernostheide, F.-J. ; Schulze, H.-J. ; Tonelli, G.
出版情報: Defect and impurity engineered semiconductors and devices III : symposium held April 1-5, 2002, San Francisco, California, U.S.A..  pp.257-262,  2002.  Warrendale, Pa.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 719
19.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Mercha, A. ; Claeys, C.
出版情報: Analytical and diagnostic techniques for semiconductor materials, devices, and processes : joint proceedings of the symposia on: ALTECH 2003, Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization IV, Paris, France and the 202nd Meeting of the Electrochemical Society, Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices VI, Salt Lake City, Utah.  pp.420-439,  2003.  Pennington, NJ.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5133
20.

国際会議録

国際会議録
Rafi, J.M. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Ulyashin, A. ; Job, R. ; Fahrner, W. ; Versluys, J. ; Clauws, P. ; Lozano, M. ; Campabadal, F.
出版情報: Analytical and diagnostic techniques for semiconductor materials, devices, and processes : joint proceedings of the symposia on: ALTECH 2003, Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization IV, Paris, France and the 202nd Meeting of the Electrochemical Society, Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices VI, Salt Lake City, Utah.  pp.96-105,  2003.  Pennington, NJ.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5133
21.

国際会議録

国際会議録
Agopian, P. G. ; Martino, J. A. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.512-519,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08
22.

国際会議録

国際会議録
Galeti, M. ; Martino, J. A. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.538-547,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08
23.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Hayama, K. ; Takakura, K. ; Mercha, A. ; Claeys, C. ; Ohyama, H.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.455-463,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08
24.

国際会議録

国際会議録
Eneman, G. ; Simoen, E. ; Delhougne, R. ; Verheyen, P. ; Simons, V. ; Loo, R. ; Caymax, M. ; De Meyer, K. ; Vandervorst, W. ; Claeys, C.
出版情報: ULSI Process Integration : proceedings of the International Symposium.  pp.338-348,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-06
25.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Eneman, G. ; Verheyen, P. ; Delhougne, R. ; Rooyackers, R. ; Loo, R. ; Vandervorst, W. ; De Meyer, K. ; Claeys, C.
出版情報: ULSI Process Integration : proceedings of the International Symposium.  pp.349-359,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-06
26.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Huang, Y. L. ; Claeys, C. ; Raft, J. M. ; Job, R. ; Fahrner, W. R. ; Versluys, J. ; Clauws, P.
出版情報: Crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing IV : DECON 2005 : proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 2005, Grenoble, France.  pp.165-175,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-10
27.

国際会議録

国際会議録
Pavanello, M.A. ; Martino, J.A. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: Silicon-on-insulator technology and devices XII : proceedings of the international symposium.  pp.289-294,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-03
28.

国際会議録

国際会議録
Claeys, C. ; Simoen, E.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.73-89,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08
29.

国際会議録

国際会議録
Claeys, C. ; Simoen, E. ; Litovchenko, V.G. ; Evtukh, A. ; Efremov, A. ; Kizjak, A. ; Rassamakin, Ju.
出版情報: Progress in SOI structures and devices operating at extreme conditions.  pp.211-220,  2002.  Dordrecht.  Kluwer Academic Publishers
シリーズ名: NATO science series. Series 2, Mathematics, physics and chemistry
シリーズ巻号: 58
30.

国際会議録

国際会議録
Poyai, A. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: Analytical and diagnostic techniques for semiconductor materials, devices, and processes : joint proceedings of the symposia on: ALTECH 2003, Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization IV, Paris, France and the 202nd Meeting of the Electrochemical Society, Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices VI, Salt Lake City, Utah.  pp.386-395,  2003.  Pennington, NJ.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5133
31.

国際会議録

国際会議録
Pavanello, M. A. ; Martino, J. A. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.464-471,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08
32.

国際会議録

国際会議録
Pavanello, M. A. ; Martino, J. A. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.21-26,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
33.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Rafi, J.M. ; Mercha, A. ; Serra-Gallifa, X. ; van Meer, H. ; De Meyer, K. ; Claeys, C. ; Kokkoris, M. ; Kossionides, E. ; Fanourakis, G.
出版情報: Silicon-on-insulator technology and devices XI : proceedings of the international symposium.  pp.437-442,  2003.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-5
34.

国際会議録

国際会議録
Nicolett, A.S. ; Martino, J.A. ; Simoen, F. ; Claeys, C.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2002 : proceedings of the seventeenth international symposium.  pp.28-34,  2002.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-8
35.

国際会議録

国際会議録
Poyai, A. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Rooyackers, R. ; Redolfi, A.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2002 : proceedings of the seventeenth international symposium.  pp.213-222,  2002.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-8
36.

国際会議録

国際会議録
Pavanello, M.A. ; Martino, J.A. ; Mercha, A. ; Rafi, J.M. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; van Meer, H. ; De Meyer, K.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2002 : proceedings of the seventeenth international symposium.  pp.205-212,  2002.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-8
37.

国際会議録

国際会議録
Poyai, A. ; Sitnoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: Analytical and diagnostic techniques for semiconductor materials, devices, and processes : joint proceedings of the symposia on: ALTECH 2003, Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization IV, Paris, France and the 202nd Meeting of the Electrochemical Society, Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices VI, Salt Lake City, Utah.  pp.386-395,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-3
38.

国際会議録

国際会議録
Lukyanchikova, N. ; Garbar, N. ; Smolanka, A. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: Science and technology of semiconductor-on-insulator structures and devices operating in a harsh environment.  pp.255-260,  2005.  Dordrecht.  Kluwer Academic Publishers
シリーズ名: NATO science series. Series 2, Mathematics, physics and chemistry
シリーズ巻号: 185
39.

国際会議録

国際会議録
Pavanello, M.A. ; Martino, J.A. ; Simoen, E. ; Mercha, A. ; Claeys, C. ; Dc Meyer, K.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2003 : proceedings of the eighteenth international symposium.  pp.112-119,  2003.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-9
40.

国際会議録

国際会議録
Raft, J.M. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Ulyashin, A. ; Job, R. ; Fahrner, W. ; Versluys, J. ; Clauws, P. ; Lozano, M ; Campabadal, F.
出版情報: Analytical and diagnostic techniques for semiconductor materials, devices, and processes : joint proceedings of the symposia on: ALTECH 2003, Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization IV, Paris, France and the 202nd Meeting of the Electrochemical Society, Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices VI, Salt Lake City, Utah.  pp.96-105,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-3
41.

国際会議録

国際会議録
Poyai, A. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Huber, A. ; Graef, D. ; Gaubas, E.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.694-706,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
42.

国際会議録

国際会議録
Claeys, C. ; Ikegami, M. ; Kobayashi, K. ; Nakabayashi, M. ; Ohyama, H. ; Simoen, E. ; Sunaga, H. ; Takami, Y. ; Takizawa, H. ; Yoneoka, M.
出版情報: Amorphous and heterogeneous silicon thin films - 2000 : symposium held April 24-28, 2000, San Francisco, California, U.S.A..  pp.A29.3-,  2001.  Warrendale.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 609
43.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Mercha, A. ; Claeys, C.
出版情報: Advanced experimental methods for noise research in nanoscale electronic devices.  pp.121-128,  2004.  Dordrecht.  Kluwer Academic Publishers
シリーズ名: NATO science series. Series 2, Mathematics, physics and chemistry
シリーズ巻号: 151
44.

国際会議録

国際会議録
Poyai, A. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Rooyackers, R.
出版情報: High purity silicon VII : proceedings of the international symposium.  pp.266-277,  2002.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-20
45.

国際会議録

国際会議録
Huang, Y.L. ; Simoen, E. ; Job, R. ; Claeys, C. ; Dungen, W. ; Ma, Y. ; Fahrner, W.R. ; Versluys, J. ; Clauws, P.
出版情報: Semiconductor defect engineering - materials, synthetic structures and devices : symposium held March 28-April 1, 2005, San Francisco, California, U.S.A..  pp.307-312,  2005.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 864
46.

国際会議録

国際会議録
Nicolett, A.S. ; Martino, J.A. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2002 : proceedings of the seventeenth international symposium.  pp.430-436,  2002.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-8
47.

国際会議録

国際会議録
Job, R. ; Ulyashin, A.G. ; Ma, Y. ; Fahnwr, W.R. ; Simoen, E. ; Rafi, J.M. ; Claeys, C. ; Niedernostheide, F.J. ; Schulze, H.J.
出版情報: High purity silicon VII : proceedings of the international symposium.  pp.141-154,  2002.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-20
48.

国際会議録

国際会議録
Lukyanchikova, N. ; Simoen, E. ; Mercha, A. ; Claeys, C.
出版情報: Advanced experimental methods for noise research in nanoscale electronic devices.  pp.129-136,  2004.  Dordrecht.  Kluwer Academic Publishers
シリーズ名: NATO science series. Series 2, Mathematics, physics and chemistry
シリーズ巻号: 151
49.

国際会議録

国際会議録
Gryse, O. De ; Clauws, P. ; Vanhellemont, J. ; Lebedev, O. ; Van Landuyt, J. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: High purity silicon VII : proceedings of the international symposium.  pp.183-196,  2002.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-20
50.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Claeys, C. ; Poyai, A.
出版情報: Crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing III : DECON 2001 : proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 2001, Nuremberg, Germany.  pp.75-92,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-29
51.

国際会議録

国際会議録
Neimash, V. ; Kraitchinskii, A. ; Kras'ko, M. ; Tischenko, V. ; Voitovych, V. ; Simoen, E. ; Claeys, C.
出版情報: High purity silicon VII : proceedings of the international symposium.  pp.336-346,  2002.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-20
52.

国際会議録

国際会議録
Czerwinski, A. ; Simoen, E. ; Poyai, A. ; Claeys, C.
出版情報: High purity silicon VII : proceedings of the international symposium.  pp.278-289,  2002.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-20
53.

国際会議録

国際会議録
Simoen, E. ; Mercha, A. ; Claeys, C.
出版情報: Analytical and diagnostic techniques for semiconductor materials, devices, and processes : joint proceedings of the symposia on: ALTECH 2003, Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization IV, Paris, France and the 202nd Meeting of the Electrochemical Society, Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices VI, Salt Lake City, Utah.  pp.420-439,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-3
54.

国際会議録

国際会議録
Poyai, A. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Hayama, K. ; Kobayashi, K. ; Ohyama, H.
出版情報: Crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing III : DECON 2001 : proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 2001, Nuremberg, Germany.  pp.93-102,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-29
55.

国際会議録

国際会議録
Poyai, A. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Huber, A. ; Graef, D. ; Gaubas, E.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.694-704,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2