1.

国際会議録
国際会議録
1. Hydrogen-induced actuation: a new active mechanism for MEMS
Zhang, Y. ; Ding, G. ; Yang, C. ; Yu, A. ; Cai, B.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices.  pp.131-137,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4601
2.

国際会議録
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2. Electrochemical microactuator based on hydrogen-absorbing film: the principle and first results
Ding, G. ; Zhang, Y. ; Yang, C. ; Zhao, X. ; Yu, A. ; Shen, T.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices.  pp.312-317,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4601
3.

国際会議録
国際会議録
3. High-aspect-ratio PMMA microstructures fabricated by RIE
Yu, A. ; Ding, G. ; Yang, C. ; Li, C. ; Mao, H. ; Ni, Z.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices.  pp.278-283,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4601
4.

国際会議録
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4. Fabrication of high-aspect-ratio microstructure on metallic substrate using SU-8 resist
Liu, J. ; Cai, B. ; Zhu, J. ; Ding, G. ; Zhao, X. ; Yang, C. ; Chen, D.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices.  pp.200-204,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4601