1.

国際会議録
国際会議録
1. Numerical analysis of a composite diaphragm microactuator
Chen, J. ; Cai, B. ; Wang, L. ; Xu, D. ; Cheng, X.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices.  pp.298-305,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4601
2.

国際会議録
国際会議録
2. Surface relief of TiNiCu thin films
Cheng, X. ; Xu, D. ; Cai, B. ; Wang, L. ; Chen, J. ; Li, G. ; Xu, S.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices.  pp.340-345,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4601