1.

国際会議録
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1. Coma measurement by transmission image sensor with a PSM
Wang, F. ; Wang, X. ; Ma, M. ; Zhang, D. ; Shi, W. ; Hu, J.
出版情報: Advanced microlithography technologies : 8-10 November, 2004, Beijing, China.  pp.208-216,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5645
2.

国際会議録
国際会議録
2. A new method to determine the energy range for the FOCAL technique
Zhang, D. ; Wang, X. ; Shi, W. ; Wang, F. ; Guo, L. ; Hu, J. ; Ma, M. ; He, L.
出版情報: Advanced microlithography technologies : 8-10 November, 2004, Beijing, China.  pp.180-187,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5645
3.

国際会議録
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3. Application of BP-neural networks in the FOCAL technique
Shi, W. ; Wang, X. ; Zhang, D. ; Wang, F. ; Ma, M.
出版情報: Advanced microlithography technologies : 8-10 November, 2004, Beijing, China.  pp.233-239,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5645
4.

国際会議録
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4. Coma aberration measurement by lateral image displacements at different defocus positions [6150-31]
Ma, M. ; Wang, X. ; Wang, F. ; Shi, W. ; Zhang, D.
出版情報: 2nd International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Optical Test and Measurement Technology and Equipment.  pp.615003-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6150