1.

国際会議録

国際会議録
Roman, P. ; Lee, D.D. ; Wang, J. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Tower, J. ; Kamieniecki, E. ; Lukasiak, L. ; Ruzyllo, aud J.
出版情報: Fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase deposition II and process control, diagnostics, and modeling in semiconductor manufacturing IV : proceedings of the international symposium.  pp.207-212,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-13
2.

国際会議録

国際会議録
Wallace, J. ; Ornstein, I. ; Nezri, M. ; Fryd, Y. ; Bloomberg, S. ; Beem, S. ; Bibi, B. ; Hem, S. ; Perna, S. ; Tower, J. ; Lang, F. ; Villani, T. ; McCarthy, D.R. ; Stabile, P.
出版情報: Infrared technology and applications XXIII : 20-25 April, 1997, Orlando, Florida.  Part 1  pp.159-167,  1997.  Bellingham, Wash..  SPIE
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3061