1.

国際会議録
国際会議録
1. Alternatives to alternating phase-shift masks for 65 nm
Torres, J.A. ; Maurer, W.
出版情報: 22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  Part One  pp.540-550,  2002.  Bellingham, WA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4889
2.

国際会議録
国際会議録
2. Calibration of OPC models for multiple focus conditions
Schacht, J. ; Herold, K. ; Zimmermann, R. ; Torres, J.A. ; Maurer, W. ; Granik, Y. ; Chang, C.-H. ; Hung, G.K.-C. ; Lin, B.S.-M.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.691-702,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377