1.

国際会議録
国際会議録
1. Evaluation of Copper Penetration in Low-ｦﾊ Polymer Dielectrics by Bias-Temperature Stress
Loke, A. L. S. ; Wong, S. S. ; Talwalkar, N. A. ; Wetzel, J. T. ; Townsend, P. H. ; Tanabe, T. ; Vrtis, R. N. ; Zussman, M. P. ; Kumar, D.
出版情報: Advanced interconnects and contacts : symposium held April 5-7, 1999, San Francisco, California, U.S.A..  pp.535-,  1999.  Warrendale, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 564
2.

国際会議録
国際会議録
2. Evaluation of Copper Penetration in Low-K Polymer Dielectrics by Bias-Temperature Stress
Kumar, D. ; Loke, A. L. S. ; Talwalkar, N. A. ; Tanabe, T. ; Townsend, P. H. ; Vrtis, R. N. ; Wetzel, J. T. ; Wong, S. S. ; Zussman, M. P.
出版情報: Low-dielectric constant materials V : symposium held April 5-8, 1999, San Francisco, California, U.S.A..  pp.173-188,  1999.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 565