Loke, A. L. S. ; Wong, S. S. ; Talwalkar, N. A. ; Wetzel, J. T. ; Townsend, P. H. ; Tanabe, T. ; Vrtis, R. N. ; Zussman, M. P. ; Kumar, D.
出版情報:
Advanced interconnects and contacts : symposium held April 5-7, 1999, San Francisco, California, U.S.A.. pp.535-, 1999. Warrendale, Pa.. MRS - Materials Research Society
Kumar, D. ; Loke, A. L. S. ; Talwalkar, N. A. ; Tanabe, T. ; Townsend, P. H. ; Vrtis, R. N. ; Wetzel, J. T. ; Wong, S. S. ; Zussman, M. P.
出版情報:
Low-dielectric constant materials V : symposium held April 5-8, 1999, San Francisco, California, U.S.A.. pp.173-188, 1999. Warrendale, Pa.. Materials Research Society