1.

国際会議録
国際会議録
1. On Discrepancies between In-situ Electrochemical Measurements and Actual Removal Rates in Tungsten CMP
Tamboli, Dnyanesh ; Desai, Vimal ; Seal, Sudipta ; Sundaram, Kalpathy B.
出版情報: Chemical mechanical planariarization in IC device manufacturing III : proceedings of the international symposium.  pp.333-341,  1999.  Pennington, N. J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-37
2.

国際会議録
国際会議録
2. An Electrochemical Investigation of Ti and TiN
Sundaram, Kalpathy B. ; Chathapuram, Venkatraman S. ; Desai, Vimal ; Seal, Sudipta
出版情報: Chemical Mechanical Planarization : proceedings of the International Symposium.  pp.173-179,  2000.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-26