1.

国際会議録

国際会議録
Roy, S. ; Van Den Broeke, D.J. ; Chen, J.F. ; Liebchen, A. ; Chen, T. ; Hsu, S.D. ; Shi, X. ; Socha, R.J.
出版情報: Design and process integration for microelectronic manufacturing II [sic] : 26-27 February 2004, Santa Clara, California, USA.  pp.190-201,  2004.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5379
2.

国際会議録

国際会議録
Petersen, J.S. ; Conley, W. ; Roman, B.J. ; Litt, L.C. ; Lucas, K. ; Wu, W. ; Van Den Broeke, D.J. ; Chen, J.F. ; Laidig, T.L. ; Wampler, K.E. ; Gerold, D.J. ; Maslow, M.J. ; Socha, R.J. ; van Praagh, J. ; Droste, R.
出版情報: Design, process integration, and characterization for microelectronics : 6-7 March 2002, Santa Clara, USA.  pp.298-311,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4692
3.

国際会議録

国際会議録
Van Den Broeke, D.J. ; Laidig, T.L. ; Chen, J.F. ; Wampler, K.E. ; Hsu, S.D. ; Shi, X. ; Socha, R.J. ; Dusa, M.V. ; Corcoran, N.P.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.550-559,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
4.

国際会議録

国際会議録
Conley, W.E. ; Van Den Broeke, D.J. ; Socha, R.J. ; Wu, W. ; Litt, L.C. ; Lucas, K.D. ; Roman, B.J. ; Peters, R.D. ; Parker, C. ; Chen, J.F. ; Wampler, K.E. ; Laidig, T.L. ; Schaefer, E. ; Kuijten, J.-P. ; Verhappen, A. ; van de Goor, S. ; Chaplin, M. ; Kasprowicz, B.S. ; Progler, C.J. ; Robert, E. ; Thony, P. ; Hathorn, M.E.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.578-584,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
5.

国際会議録

国際会議録
Kasprowicz, B.S. ; Conley, W.E. ; Litt, L.C. ; Van Den Broeke, D.J. ; Montgomery, P.K. ; Socha, R.J. ; Wu, W. ; Lucas, K.D. ; Roman, B.J. ; Chen, J.F. ; Wampler, K.E. ; Laidig, T.L. ; Progler, C.J. ; Hathorn, M.E.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.624-631,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
6.

国際会議録

国際会議録
Wiaux, V. ; Bekaert, J. ; Chen, J.F. ; Hsu, S.D. ; Ronse, K.G. ; Socha, R.J. ; Vandenberghe, G. ; Van Den Broeke, D.J.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.585-594,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
7.

国際会議録

国際会議録
Flagello, D.G. ; Socha, R.J. ; Shi, X. ; Schoot, J.B. ; Baselmans, J. ; Kerkhof, M.A. ; Boeij, W. ; Engelen, A. ; Carpaij, R. ; Noordman, O. ; Moers, M.H.P. ; Mulder, M. ; Finders, J. ; Greevenbroek, H. ; Schriever, M. ; Maul, M. ; Haidner, H. ; Goeppert, M. ; Wegmann, U. ; Graeupner, P.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part One  pp.139-150,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
8.

国際会議録

国際会議録
Conley, W. ; Montgomery, P.K. ; Lucas, K. ; Litt, L.C. ; Maltabes, J.G. ; Dieu, L. ; Hughes, G.P. ; Mellenthin, D.L. ; Socha, R.J. ; Fanucchi, E.L. ; Verhappen, A. ; Wampler, K.E. ; Yu, L. ; Schaefer, E. ; Cassel, S. ; Kuijten, J.P. ; Pijnenburg, W. ; Wiaux, V. ; Vandenberghe, G.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part Two  pp.1210-1219,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
9.

国際会議録

国際会議録
Hsu, S.D. ; Corcoran, N.P. ; Eurlings, M. ; Knose, W.T. ; Laidig, T.L. ; Wampler, K.E. ; Roy, S. ; Shi, X. ; Hsu, C.M. ; Chen, J.F. ; Finders, J. ; Socha, R.J. ; Dusa, M.V.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part One  pp.476-490,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
10.

国際会議録

国際会議録
Petersen, J.S. ; Conley, W. ; Roman, B.J. ; Litt, L.C. ; Lucas, K. ; Wu, W. ; Van Den Broeke, D.J. ; Chen, J.F. ; Laidig, T.L. ; Wampler, K.E. ; Gerold, D.J. ; Socha, R.J. ; van Praagh, J. ; Droste, R.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part One  pp.515-529,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
11.

国際会議録

国際会議録
Graeupner, P. ; Goehnermeier, A. ; Lowisch, M. ; Garreis, R.B. ; Flagello,D.G. ; Hansen, S.G. ; Socha, R.J. ; Koehler, C.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part One  pp.503-514,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
12.

国際会議録

国際会議録
Socha, R.J. ; Van Den Broeke, D.J. ; Yu, L. ; Conley, W. ; Wu, W. ; Chen, J.F. ; Petersen, J.S. ; Gerold, D.J. ; van Praagh, J. ; Droste, R. ; Flagello, D.G. ; Hsu, S.D.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part One  pp.446-458,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
13.

国際会議録

国際会議録
Dieu, L. ; Fanucchi, E.L. ; Hughes, G.P. ; Maltabes, J.G. ; Mellenthin, D.L. ; Conley, W. ; Litt, L.C. ; Lucas, K. ; Socha, R.J. ; Wampler, K.E. ; Verhappen, A. ; Kiuten, J.
出版情報: 22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  Part Two  pp.1227-1233,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4889
14.

国際会議録

国際会議録
Kasprowicz, B.S. ; Progler, C.J. ; Wu, W. ; Conley, W. ; Litt, L.C. ; Van Den Broeke, D.J. ; Wampler, K.E. ; Socha, R.J.
出版情報: 22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  Part Two  pp.1189-1201,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4889
15.

国際会議録

国際会議録
Shi, X. ; Chen, J.F. ; Hsu, S. ; Van Den Broeke, D.J. ; Socha, R.J. ; Chang, C.H. ; Dai, C.-M.
出版情報: 22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  Part Two  pp.1304-1312,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4889
16.

国際会議録

国際会議録
Conley, W. ; Broeke, D.J.V.D. ; Socha, R.J. ; Wu, W. ; Litt, L.C. ; Lucas, K. ; Nelson-Thomas, C.M. ; Roman, B.J. ; Chen, F. ; Wampler, K.E. ; Laidig, T.L. ; Hsu, S.D. ; Schaefer, E. ; Cassel, S. ; Yu, L. ; Kasprowicz, B.S. ; Progler, C.J. ; Petersen, J.S. ; Gerold, D.J. ; Maslow, M.J.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part One  pp.392-398,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
17.

国際会議録

国際会議録
Hsu, S.D. ; Chen, J.F. ; Cororan, N. ; Knose, W.T. ; Broeke, D.J.V.D. ; Laidig, T.L. ; Wampler, K.E. ; Shi, X. ; Hsu, C.M. ; Eurlings, M. ; Finders, J. ; Chiou, T.-B. ; Socha, R.J. ; Conley, W. ; Hsieh, Y.W. ; Tuan, S. ; Hsieh, F.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part One  pp.215-231,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
18.

国際会議録

国際会議録
Pistor, T.V. ; Socha, R.J.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVI.  Part Two  pp.1045-1056,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4689
19.

国際会議録

国際会議録
Shi, X. ; Hsu, S. ; Chen, J.F. ; Hsu, M. ; Socha, R.J. ; Dusa, M.V.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVI.  Part Two  pp.985-996,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4689
20.

国際会議録

国際会議録
Kim, K. ; Choi, Y.S. ; Socha, R.J. ; Flagello, D.G.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part One  pp.240-246,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
21.

国際会議録

国際会議録
Socha, R.J. ; Van Den Broeke, D.J. ; Hsu, S.D. ; Chen, J.F. ; Laidig, T.L. ; Corcoran, N. ; Hollerbach, U. ; Wampler, K.E. ; Shi, X. ; Conley, W.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.222-240,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
22.

国際会議録

国際会議録
Flagello, D.G. ; Arnold, B. ; Hansen, S. ; Dusa, M. ; Socha, R.J. ; Mulkens, J. ; Garreis, R.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.21-33,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
23.

国際会議録

国際会議録
Kuijten, J.-P. ; Verhappen, A. ; Pijnenburg, W. ; Conley, W. ; Litt, L.C. ; Wu, W. ; Montgomery, P. ; Roman, B.J. ; Kasprowicz, B.S. ; Progler, C.J. ; Socha, R.J. ; Van Den Broeke, D.J. ; Schaefer, E. ; Cook, P.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.1032-1039,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
24.

国際会議録

国際会議録
Conley, W. ; Van Den Broeke, D.J. ; Socha, R.J. ; Wu, W. ; Litt, L.C. ; Lucas, K.D. ; Roman, B.J. ; Peters, R.D. ; Parker, C. ; Chen, F. ; Wampler, K.E. ; Laidig, T.L. ; Schaefer, E. ; Kuijten, J.-P. ; Verhappen, A. ; van de Goor, S. ; Chaplin, M. ; Kasprowicz, B.S. ; Progler, C.J. ; Robert, E. ; Thony, P.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.504-509,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
25.

国際会議録

国際会議録
Engelen, A. ; Socha, R.J. ; Hendrickx, E. ; Scheepers, W. ; Nowak, F. ; Van Dam, M. ; Liebchen, A. ; Faas, D.A.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.1323-1333,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
26.

国際会議録

国際会議録
Litt, L.C. ; Wu, W. ; Conley, W. ; Lucas, K.D. ; Roman, B.J. ; Montgomery, P. ; Kasprowicz, B.S. ; Progler, C.J. ; Socha, R.J. ; Verhappen, A. ; Wampler, K.E. ; Schaefer, E. ; Cook, P. ; Kuijten, J.-P. ; Pijnenburg, W.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.1305-1314,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
27.

国際会議録

国際会議録
Socha, R.J. ; Van Den Broeke, D.J. ; Hsu, S.D. ; Chen, J.F. ; Laidig, T.L. ; Corcoran, N.P. ; Hollerbach, U. ; Wampler, K.E. ; Shi, X. ; Conley, W.E.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.516-534,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
28.

国際会議録

国際会議録
Van Den Broeke, D.J. ; Chen, J.F. ; Laidig, T.L. ; Hsu, S.D. ; Wampler, K.E. ; Socha, R.J. ; Petersen, J.S.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part One  pp.196-214,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691