1.

国際会議録
国際会議録
1. Maskless optical lithography using MEMS-based spatial light modulators (Invited Paper)
Menon, R. ; Patel, A. ; Smith, H.I.
出版情報: MOEMS Display and Imaging Systems III.  pp.53-63,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5721
2.

国際会議録
国際会議録
2. Zone-plate-array lithography (ZPL): a maskless fast-turn-around system for microoptic device fabrication (Invited Paper)
Menon, R. ; Gil, D. ; Carter, D.J.D. ; Patel, A. ; Smith, H.I.
出版情報: Micromachining Technology for Micro-Optics and Nano-Optics.  pp.10-17,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4984