Blank Cover Image

ICP Dry Etching of III-V Nitrides

著者名:
Vartuli, C. B.
Lee, J. W.
MacKenzie, J. D.
Donovan, S. M.
Abernathy, C. R.
Pearton, S. J.
Shul, R. J.
Constantine, C.
Barratt, C.
Katz, A.
Poyakov, A. Y.
Shin, M.
Skowronski, M.
さらに 8 件
掲載資料名:
Gallium nitride and related materials II : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A.
シリーズ名:
Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号:
468
発行年:
1997
開始ページ:
393
出版情報:
Pittsburgh, Pa.: MRS - Materials Research Society
ISSN:
02729172
ISBN:
9781558993723 [155899372X]
言語:
英語
請求記号:
M23500/468
資料種別:
国際会議録

類似資料:

Vartuli, C. B., Lee, J. W., MacKenzie, J. D., Pearton, S. J., Abernathy, C. R., Shul, R. J.

MRS - Materials Research Society

Cho, Hyun, Vartuli, C. B., Abernathy, C. R., Donovan, S. M., Pearton, S. J., Shul, R. J., Han, J.

MRS - Materials Research Society

Pearton, S. J., Vartuli, C. B., Lee, J. W., Donovan, S. M., MacKenzie, J. D., Abernathy, C. R., Shul, R. J., McLane, G. …

MRS - Materials Research Society

Hong, J., Lee, J. W., Vartuli, C. B., MacKenzie, J. D., Donovan, S. M., Abernathy, C. R., Crockett, R. V., Pearton, S. …

MRS - Materials Research Society

Shul, R. J., Briggs, R. D., Pearton, S. J., Vartuli, C. B., Abernathy, C. R., Lee, J. W., Constantine, C., Barratt, C.

MRS - Materials Research Society

Shul, R.J., McClellan, G.B., Rieger, D.J., Hafich, M.J., Drummond, T.J., Pearton, S.J., Abernathy, C.R., Constantine, …

Electrochemical Society

Pearton, S. J., Lee, J. W., MacKenzie, J. D., Vartuli, C. B., Donovan, S. M., Abernathy, C. R., Shul, R. J., Ren, F., …

MRS - Materials Research Society

Vartuli, C. B., Lee, J. W., MacKenzie, J. D., Pearton, S. J., Abernathy, C. R., Zolper, J. C., Shul, R. J., Ren, F.

MRS - Materials Research Society

Shul, R. J., Willison, C. G., Bridges, M. M., Han, J., Lee, J. W., Pearton, S. J., Abernathy, C. R., MacKenzie, J. D., …

MRS - Materials Research Society

Vartuli, C.B., Pearton, S.J., Abernathy, C.R., Shul, R.J., Ren, F.

Electrochemical Society

Abernathy, C. R., Pearton, S. J., Mackenzie, J. D., Lee, J. W., Vartuli, C. B., Wilson, R. G., Shul, R. J., Zolper, J. …

MRS - Materials Research Society

Pearton, S.J., Shul, R.J., Wilson, R.G., Ren, F., Zavada, J.M., Abernathy, C.R., Vartuli, C.B., Lee, J.W., Mileham, …

Electrochemical Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12