1.

国際会議録
国際会議録
1. INFLUENCE OF THE ROTATION IN THE CZ FURNACE UPON THE OXYGEN CONCENTRATION IN THE Si CRYSTAL
Togawa, S. ; Yokotani, A. ; Kimura, S. ; Shiraishi, Y. ; Imai, M.
出版情報: Proceedings of the Seventh International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.90-103,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-10
2.

国際会議録
国際会議録
2. A Study of the Oxygen Contained Polycrystalline Silicon Using FTIR
Ando, M. ; Watanabe, M. ; Shiraishi, Y. ; Imai, M. ; Yatsurugi, Y.
出版情報: Proceedings of the Fourth International Symposium on High Purity Silicon.  pp.566-576,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-13