1.
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国際会議録
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Kim, S.-H. ; Chung, D.-H. ; Park, J.S.. ; Shin, I.K. ; Choi, S.W. ; Sohn, J.-M. ; Lee, J.-H. ; Shin, H.-S. ; Chen, J.F. ; Van Den Broeke, D.J.
出版情報: |
22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology. Part One pp.568-578, 2002. Bellingham, WA. SPIE-The International Society for Optical Engineering |
シリーズ名: |
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering |
シリーズ巻号: |
4889 |
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2.
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国際会議録
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Park, J.-S. ; Kim, S.-H. ; Shin, I.-K. ; Choi, S.-W. ; Sohn, J.-M. ; Lee, J.-H. ; Shin, H.-S. ; Laidig, T.L. ; Van den Broeke, D.J. ; Chen, J.F.
出版情報: |
23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology. pp.112-121, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering |
シリーズ名: |
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering |
シリーズ巻号: |
5256 |
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