1.

国際会議録

国際会議録
Shimizu, M. ; Chonan, H. ; Piao, G. ; Okumura, H. ; Nakanishi, H.
出版情報: Silicon carbide and related materials - 2005 : proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials - 2005 : Pittsburgh, Pennsylvania, USA : September 18-23 2005.  pp.1493-1496,  2006.  Stafa-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 527-529
2.

国際会議録

国際会議録
Maeyama, Y. ; Nishikawa, K. ; Fukuda, Y. ; Shimizu, M. ; Sato, M. ; Ono, J. ; Iwakuro, H.
出版情報: Silicon carbide and related materials - 2005 : proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials - 2005 : Pittsburgh, Pennsylvania, USA : September 18-23 2005.  pp.867-870,  2006.  Stafa-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 527-529
3.

国際会議録

国際会議録
Fukuda, Y. ; Shimizu, M.
出版情報: High-temperature oxidation and corrosion 2005 : proceedings of the International Symposium on High-Temperature Oxidation and Corrosion 2005 , Nara, Japan, 30th November - 2nd December 2005.  pp.189-196,  2006.  Uetikon-Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 522-523
4.

国際会議録

国際会議録
Yoshihara, M. ; Tanaka, R. ; Suzuki, T. ; Shimizu, M.
出版情報: High-Temperature ordered intermetallic alloys IV : symposium held November 27-30, 1990, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.975-980,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 213
5.

国際会議録

国際会議録
Shiozaki, R. ; Andersen, A. G. ; Hayakawa, T. ; Hamakawa, S. ; Suzuki, K. ; Shimizu, M. ; Takehira, K.
出版情報: 3rd World Congress on Oxidation Catalysis : proceedings of the 3rd World Congress on Oxidation Catalysis, San Diego, CA, U.S.A., 21-26 September 1997.  pp.701-,  1997.  Amsterdam.  Elsevier
シリーズ名: Studies in surface science and catalysis
シリーズ巻号: 110
6.

国際会議録

国際会議録
Watanabe, Y. ; Takehira, K. ; Shimizu, M. ; Hayakawa, T. ; Orita, H. ; Kaise, M.
出版情報: Dioxygen activation and homogeneous catalytic oxidation : proceedings of the Fourth International Symposium on Dioxygen Activation and Homogeneous Catalytic Oxidation.  pp.213-,  1991.  Amsterdam.  Elsevier
シリーズ名: Studies in surface science and catalysis
シリーズ巻号: 66
7.

国際会議録

国際会議録
Shibata, M. ; Shimizu, M. ; Nojima, K. ; Yoshino, K. ; Hosokawa, H. ; Suzuki, T.
出版情報: Proceedings of the International Conference on Colloid and Surface Science, Tokyo, Japan, November 5-8, 2000 : 25th Anniversary of the Division of Colloid and Surface Chemistry, the Chemical Society of Japan.  pp.1071-1074,  2001.  Amsterdam.  Elsevier
シリーズ名: Studies in surface science and catalysis
シリーズ巻号: 132
8.

国際会議録

国際会議録
Ishii, A. ; Shimizu, M. ; Imoto, Y.
出版情報: Optomechatronic systems III : 12-14 November 2002, Stuttgart, Germany.  pp.182-188,  2002.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4902
9.

国際会議録

国際会議録
Hamakawa, S. ; Hayakawa, T. ; Suzuki, K. ; Shimizu, M. ; Takehira, T.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Ionic and Mixed Conducting Ceramics.  pp.581-587,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-24
10.

国際会議録

国際会議録
Yokoi, H. ; Mizumoto, T. ; Shimizu, M. ; Waniishi, T. ; Futakuchi, N. ; Kaida, N. ; Nakano, Y.
出版情報: Semiconductor wafer bonding : science, technology, and applications : proceedings of the international symposia.  pp.311-317,  1999.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-35
11.

国際会議録

国際会議録
Wei, Y. -Z. ; Takeshita, K. ; Shimizu, M. ; Kumagai, M. ; Takashima, Y.
出版情報: Catalyst deactivation 1994 : proceedings of the 6th international symposium, Ostend (Belgium), October 3-5, 1994.  pp.609-,  1994.  Amsterdam.  Elsevier
シリーズ名: Studies in surface science and catalysis
シリーズ巻号: 88
12.

国際会議録

国際会議録
Okamoto, T. ; Shimizu, M. ; Tsukamoto, K. ; Matsukawa, T.
出版情報: Energy beam-solid interactions and transient thermal processing/1984 : symposium held November 26-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.471-476,  1985.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 35
13.

国際会議録

国際会議録
Takehira, K. ; Shimizu, M. ; Watanabe, Y. ; Orita, H. ; Hayakawa, T.
出版情報: New developments in selective oxidation : proceedings of an international symposium, Rimini, Italy, September 18-22, 1989.  pp.133-,  1990.  Amsterdam.  Elsevier
シリーズ名: Studies in surface science and catalysis
シリーズ巻号: 55
14.

国際会議録

国際会議録
Takehira, K. ; Shimizu, M. ; Watanabe, Y. ; Hayakawa, T. ; Orita, H.
出版情報: Dioxygen activation and homogeneous catalytic oxidation : proceedings of the Fourth International Symposium on Dioxygen Activation and Homogeneous Catalytic Oxidation.  pp.279-,  1991.  Amsterdam.  Elsevier
シリーズ名: Studies in surface science and catalysis
シリーズ巻号: 66
15.

国際会議録

国際会議録
Hamakawa, S. ; Hayakawa, T. ; Suzuki, K. ; Shimizu, M. ; Takehira, K.
出版情報: 3rd World Congress on Oxidation Catalysis : proceedings of the 3rd World Congress on Oxidation Catalysis, San Diego, CA, U.S.A., 21-26 September 1997.  pp.1223-,  1997.  Amsterdam.  Elsevier
シリーズ名: Studies in surface science and catalysis
シリーズ巻号: 110
16.

国際会議録

国際会議録
Fujisawa, H. ; Shimizu, M. ; Niu, H. ; Honda, K. ; Ohtani, S.
出版情報: Ferroelectric thin films VIII : symposium held November 29-December 2, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.321-,  2000.  Warrendale, PA.  MRS-Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 596
17.

国際会議録

国際会議録
Shimizu, M. ; Fujisawa, H. ; Niu, H.
出版情報: Ferroelectric thin films VIII : symposium held November 29-December 2, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.259-,  2000.  Warrendale, PA.  MRS-Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 596
18.

国際会議録

国際会議録
Shimizu, M. ; Fujisawa, H. ; Hyodo, S. ; Nakashima, S. ; Niu, H. ; Okino, H. ; Shiosaki, T.
出版情報: Ferroelectric thin films VI : symposium held November 30-December 4, 1997, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.159-,  1998.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 493
19.

国際会議録

国際会議録
Nonomura, H. ; Fujisawa, H. ; Shimizu, M. ; Niu, H. ; Honda, K.
出版情報: Ferroelectric thin films XI : symposium held December 2-5, 2002, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.81-86,  2003.  Warrendale, Pa.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 748
20.

国際会議録

国際会議録
Fukuda, Y. ; Nishikawa, K. ; Shimizu, M. ; Iwakuro, H.
出版情報: Silicon carbide and related materials 2001 : ICSCRM2001, proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2001, Tsukuba, Japan, October 28-November 2, 2001.  pp.671-674,  2002.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 389-393
21.

国際会議録

国際会議録
Fujisawa, H. ; Watari, S. ; Shimizu, M. ; Niu, H. ; Oshima, N.
出版情報: Ferroelectric thin films XII : symposium held December 1-4, 2003, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.269-274,  2004.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 784
22.

国際会議録

国際会議録
Yamada, M. ; Aozasa, S. ; Ono, H. ; Mori, A. ; Sakamoto, T. ; Shikano, K. ; Shimizu, M.
出版情報: Active and passive optical components for WDM communications III : 8-11 September, 2003, Orlando, Florida, USA.  pp.216-223,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5246
23.

国際会議録

国際会議録
Fujisawa, H. ; Morimoto, K. ; Shimizu, M. ; Niu, H. ; Honda, K. ; Ohtani, S.
出版情報: Ferroelectric thin films IX : symposium held November 26-30, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A..  2001.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 655
24.

国際会議録

国際会議録
Takasu, Y. ; Shimizu, M. ; Shibutani, T. ; Ohnuma, T. ; Sugimoto, W. ; Yamamoto, Y.
出版情報: Electrochemical capacitor and hybrid power sources : proceedings of the international symposium.  pp.107-115,  2002.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-7
25.

国際会議録

国際会議録
Shimizu, M. ; Kita, K. ; Fujisawa, H. ; Niu, H.
出版情報: Ferroelectric thin films IX : symposium held November 26-30, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A..  2001.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 655
26.

国際会議録

国際会議録
Nishikawa, K. ; Shimizu, M. ; Foster, B. ; Iwakuro, H.
出版情報: Silicon carbide and related materials : ECSCRM2000, proceedings of the 3rd European Conference on Silicon Carbide and Related Materials, Kloster Banz, Germany, September 2000.  pp.611-614,  2001.  Uetikon-Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 353-356
27.

国際会議録

国際会議録
Shen, X.Q. ; Ide, T. ; Shimizu, M. ; Okumura, H.
出版情報: Silicon carbide and related materials 2001 : ICSCRM2001, proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2001, Tsukuba, Japan, October 28-November 2, 2001.  pp.1461-1464,  2002.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 389-393
28.

国際会議録

国際会議録
Ide, T. ; Shimizu, M. ; Suzuki, A. ; Shen, X.-Q. ; Okumura, H. ; Nemoto, T.
出版情報: Silicon carbide and related materials 2001 : ICSCRM2001, proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2001, Tsukuba, Japan, October 28-November 2, 2001.  pp.1519-1522,  2002.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 389-393
29.

国際会議録

国際会議録
Shimizu, M. ; Ohkita, H. ; Suzuki, A. ; Okumura, H.
出版情報: Silicon carbide and related materials 2001 : ICSCRM2001, proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2001, Tsukuba, Japan, October 28-November 2, 2001.  pp.1465-1468,  2002.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 389-393
30.

国際会議録

国際会議録
Ide, T. ; Shimizu, M. ; Shen, X. -Q. ; Hara, S. ; Okumura, H. ; Nemoto, T.
出版情報: Silicon carbide and related materials - 1999 : ICSCRM'99, proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials - 1999, Research Triangle Park, North Carolina, USA, October 10-15, 1999.  pp.1459-1462,  2000.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 338-342(2)
31.

国際会議録

国際会議録
Shen, Xu-Qiang ; Ide, T. ; Cho, S.H. ; Shimizu, M. ; Hara, S. ; Okumura, H.
出版情報: Wide-bandgap electronic devices.  pp.T6.22-,  2001.  Warrendale, PA..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 622
32.

国際会議録

国際会議録
Fujisawa, H. ; Yagi, T. ; Shimizu, M. ; Niu, H.
出版情報: Ferroelectric thin films XI : symposium held December 2-5, 2002, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.255-260,  2003.  Warrendale, Pa.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 748
33.

国際会議録

国際会議録
Shimizu, M. ; Hashimoto, K.
出版情報: Functional properties of proteins and lipids.  pp.265-,  1998.  Washington, DC.  American Chemical Society
シリーズ名: ACS symposium series
シリーズ巻号: 708
34.

国際会議録

国際会議録
Shimizu, M. ; Saito, M.
出版情報: Macromolecular interactions in food technology : developed from a symposium sponsored by the ACS Division of Agrochemicals at the 1995 International Chemical Congress of Pacific Basin Societies.  pp.156-165,  1996.  Washington, DC.  American Chemical Society
シリーズ名: ACS symposium series
シリーズ巻号: 650
35.

国際会議録

国際会議録
Fujisawa, H. ; Nakashima, S. ; Shimizu, M. ; Niu, H.
出版情報: Ferroelectric thin films VII : symposium held November 30-December 3, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.327-,  1999.  Warrendale, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 541
36.

国際会議録

国際会議録
Shimizu, M. ; Yoshida, M. ; Fujisawa, H. ; Niu, H.
出版情報: Ferroelectric thin films VII : symposium held November 30-December 3, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.411-,  1999.  Warrendale, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 541
37.

国際会議録

国際会議録
Shimizu, M. ; Hyodo, S. ; Fujisawa, H. ; Niu, H. ; Shiosaki, T.
出版情報: Ferroelectric thin films V : symposium held April 7-12, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.201-,  1996.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 433
38.

国際会議録

国際会議録
Shiratama, K. ; Mase, I. ; Shimizu, M. ; Nakagawa, K. ; Yamamoto, A.
出版情報: Proceedings of the AIAA-ESA Workshop on International Cooperation in Satellite Communications : ESTEC, Noordwijk, The Netherlands, 27-29 March 1995.  pp.317-324,  1995.  Noordwijk, The Netherlands.  ESA Publications Division
シリーズ名: ESA SP
シリーズ巻号: 372
39.

国際会議録

国際会議録
Fukuda, Y. ; Nishikawa, K. ; Shimizu, M. ; Iwakuro, H.
出版情報: Silicon carbide and related materials 2001 : ICSCRM2001, proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2001, Tsukuba, Japan, October 28-November 2, 2001.  pp.671-674,  2002.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 389-393
40.

国際会議録

国際会議録
Ide, T. ; Shimizu, M. ; Suzuki, A. ; Shen, X.-Q. ; Okumura, H. ; Nemoto, T.
出版情報: Silicon carbide and related materials 2001 : ICSCRM2001, proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2001, Tsukuba, Japan, October 28-November 2, 2001.  pp.1519-1522,  2002.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 389-393
41.

国際会議録

国際会議録
Shimizu, M. ; Ohkita, H. ; Suzuki, A. ; Okumura, H.
出版情報: Silicon carbide and related materials 2001 : ICSCRM2001, proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2001, Tsukuba, Japan, October 28-November 2, 2001.  pp.1465-1468,  2002.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 389-393
42.

国際会議録

国際会議録
Shen, X.Q. ; Ide, T. ; Shimizu, M. ; Okumura, H.
出版情報: Silicon carbide and related materials 2001 : ICSCRM2001, proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2001, Tsukuba, Japan, October 28-November 2, 2001.  pp.1461-1464,  2002.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 389-393
43.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Sahara, H. ; Shimizu, M.
出版情報: AIAA paper.  2003.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference and Exhibit
シリーズ巻号: 2003
44.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Shimizu, M. ; Inoue, T. ; Miyazaki, T.
出版情報: 16th Asia Pacific Automotive Engineering Conference : SAE technical paper.  2011.  Warrendale, Penn..  Society of Automotive Engineers
シリーズ名: Society of Automotive Engineers technical paper series
シリーズ巻号: 2011
45.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Shimizu, M. ; Yageta, K. ; Matsui, Y. ; Yoshida, T.
出版情報: 2011 SAE world congress : technical paper.  2011.  Warrendale, Penn..  Society of Automotive Engineers
シリーズ名: Society of Automotive Engineers technical paper series
シリーズ巻号: 2011
46.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Sahara, H. ; Shimizu, M.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2004.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference and Exhibit
シリーズ巻号: 40th
47.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Nozaki, H. ; Shimizu, M. ; Sakuno, M.
出版情報: 2009 Commercial Vehicle Engineering Congress and Exhibition : SAE technical paper.  2009.  Warrendale, Penn..  Society of Automotive Engineers
シリーズ名: Society of Automotive Engineers technical paper series
シリーズ巻号: 2009
48.

国際会議録

国際会議録
Fujimura, Y. ; Morimoto, J. ; Manoshiro, A. ; Shimizu, M. ; Takamizawa, H. ; Hashimoto, M. ; Shiratori, H. ; Horii, K. ; Yokoya, Y. ; Ohkubo, Y. ; Enomoto, T. ; Sakaguchi, T. ; Nagai, M.
出版情報: Photomask Technology 2006.  pp.634936-634936,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6349
49.

国際会議録

国際会議録
Nakahara, K. ; Takauji, H. ; Kaneko, S. ; Tanaka, T. ; Shimizu, M. ; Miyashita, Y.
出版情報: Optomechatronic Sensors, Instrumentation, and Computer-Vision Systems.  pp.63750I-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6375
50.

国際会議録

国際会議録
Hashimoto, M. ; Shiratori, H. ; Horii, K. ; Yokoya, Y. ; Ohkubo, Y. ; Takamizawa, H. ; Fujimura, Y. ; Morimoto, J. ; Manoshiro, A. ; Shimizu, M. ; Yokoyama, T. ; Enomoto, T. ; Nagai, M.
出版情報: Photomask Technology 2006.  pp.63490I-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6349
51.

国際会議録

国際会議録
Tojo, T. ; Yoshikawa, R. ; Ogawa, Y. ; Tamamushi, S. ; Hattori, Y. ; Koikari, S. ; Kusakabe, H. ; Abe, T. ; Ogasawara, M. ; Akeno, K. ; Anze, H. ; Hattori, K. ; Hirano, R. ; Yoshitake, S. ; Iijima, T. ; Ohtoshi, K. ; Matsuki, K. ; Shimomura, N. ; Yamada, N. ; Higurashi, H. ; Nakayamada, N. ; Fukudome, Y. ; Hara, S. ; Murakami, E. ; Kamikubo, T. ; Suzuki, Y. ; Oogi, S. ; Shimizu, M. ; Nishimura, S. ; Tsurumaki, H. ; Yasuda, S. ; Ooki, K. ; Koyama, K. ; Watanabe, S. ; Yano, M. ; Suzuki, H. ; Hoshino, H. ; Toriumi, M. ; Watanabe, O. ; Tsuji, K. ; Katayama, M. ; Tsuchiya, S. ; Suzuki, K. ; Kurasawa, S. ; Okuzono, K. ; Yamada, H. ; Handa, K. ; Suzuki, Y. ; Akiyama, T. ; Tada, Y. ; Noma, A. ; Takigawa, T.
出版情報: Photomask and X-Ray Mask Technology VI.  pp.416-425,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3748
52.

国際会議録

国際会議録
Shimizu, M. ; Chang, S. ; Okutomi, M.
出版情報: Visual Communications and Image Processing 2006.  pp.607713-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6077
53.

国際会議録

国際会議録
Fujii, A. ; Sasaki, S. ; Shimizu, M. ; Kobayashi, Y. ; Tominaga, T. ; Hoga, M. ; Mohri, H. ; Hayashi, N. ; Hayano, K. ; Hasegawa, N. ; Hosono, K. ; Arai, T.
出版情報: 24th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.960-967,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5567