1.

国際会議録

国際会議録
Schulze, H.-J. ; Niedemostheide, F.-J. ; Schmitt, M. ; Keilner-Werdehausen, U. ; Wachutka, G.
出版情報: High purity silicon VII : proceedings of the international symposium.  pp.320-335,  2002.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-20
2.

国際会議録

国際会議録
Niedernostheide, F.-J. ; Schulze, H.-J. ; Kellner-Werdehausen, U. ; Frohnmeyer, A. ; Wachutka, G.
出版情報: Crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing III : DECON 2001 : proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 2001, Nuremberg, Germany.  pp.112-120,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-29