1.

国際会議録

国際会議録
Mertens, P.W. ; Meuris, M. ; Schmidt, H.F. ; Verhaverbeke, S. ; Heyns, M.M. ; Carr, P. ; Graeff, D. ; Schnegg, A. ; Kubota, M. ; Dillenbeck, K. ; de Blank, R.
出版情報: Proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 93 Grenoble/France : crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing.  pp.87-102,  1993.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1993-15
2.

国際会議録

国際会議録
Heyns, M. M. ; Verhaverbeke, S. ; Meuris, M. ; Mertens, P. W. ; Schmidt, H. ; Kubota, M. ; Philipossian, A. ; Dillenbeck, K. ; Graf, D. ; Schnegg, A. ; Blank, R. de
出版情報: Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing.  pp.35-,  1993.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 315