1.

国際会議録

国際会議録
Yamada, N. ; Ventzek, P.L.G. ; Date, H. ; Sakai, Y. ; Tagashira, H.
出版情報: Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing.  pp.126-136,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-12
2.

国際会議録

国際会議録
Miyashita, T. ; Sakai, K. ; Ventzak, P.L.G. ; Sakai, Y. ; Tagashira, H.
出版情報: Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing.  pp.137-147,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-12
3.

国際会議録

国際会議録
Yang, J. ; Yamada, N. ; Ventzek, P.L.G. ; Sakai, Y. ; Date, H. ; Tagashira, H. ; Kitamori, K.
出版情報: Proceedings of the Second International Symposium on Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing.  pp.233-244,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-9
4.

国際会議録

国際会議録
Yamada, N. ; Ventzek, P.L.G. ; Sakai, Y. ; Tagashira, H.
出版情報: Proceedings of the Symposium on Process control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing.  pp.575-587,  1995.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 95-2