1.

国際会議録
国際会議録
1. INFLUENCE OF RAPID THERMAL ANNEALING OF SHALLOW BF2 IMPLATATION INTO PRE-AMORPHIZED SILICON
Maszara, W. ; Carter, C. ; Sadana, D. K. ; Liu, J. ; Ozguz, V. ; Wortman, J. ; Rozgonyi, G. A.
出版情報: Energy beam-solid interactions and transient thermal processing : symposium held November 1983 in Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.285-292,  1984.  New York.  North-Holland
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 23
2.

国際会議録
国際会議録
2. GERMANIUM IMPLANTATION INTO SILICON: AN ALTERNATE PRE-AMORPHIZATION/RAPID THERMAL ANNEALING PROCEDURE FOR SHALLOW JUNCTION TECHNOLOGY
Sadana, D. K. ; Myers, E. ; Liu, J. ; Finstaad, T. ; Rozgonyi, G. A.
出版情報: Energy beam-solid interactions and transient thermal processing : symposium held November 1983 in Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.303-308,  1984.  New York.  North-Holland
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 23