1.
国際会議録
K. Otsubo ; S. Yamaguchi ; Y. Arisawa ; H. Mukai ; T. Kotani ; H. Mashita ; H. Hashimoto ; T. Kamo ; T. Tsutsui ; O. Ikenaga
出版情報:
Photomask and next-generation lithography mask technology XIV . 2007. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
6607
2.
国際会議録
S. Miyoshi ; S. Yamaguchi ; T. Hirano ; H. Mashita ; H. Mukai
出版情報:
Photomask technology 2008 . 1 pp.71220P-1-71220P-8, 2008. Bellingham, Wash.. Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
7122
3.
国際会議録
H. Mukai ; Y. Kobayashi ; S. Yamaguchi ; K. Kawano ; K. Hashimoto
出版情報:
Photomask and next-generation lithography mask technology XV . 1 pp.702812-1-702812-8, 2008. Bellingham, Wash.. Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
7028
4.
国際会議録
K. Hashimoto ; H. Mukai ; S. Miyoshi ; S. Yamaguchi ; H. Mashita
出版情報:
Lithography Asia 2008 . 2 pp.714022-1-714022-10, 2008. Bellingham, Wash.. Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
7140
5.
国際会議録
S. Yamaguchi ; E. Yamanaka ; H. Mukai ; T. Kotani ; H. Mashita
出版情報:
Photomask technology 2007 . 2 pp.673036-1-673036-12, 2007. Bellingham, Wash.. Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
6730