1.

国際会議録
国際会議録
1. Mask defect printability in the spacer patterning process
S. Miyoshi ; S. Yamaguchi ; T. Hirano ; H. Mashita ; H. Mukai
出版情報: Photomask technology 2008.  1  pp.71220P-1-71220P-8,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 7122
2.

国際会議録
国際会議録
2. Mask specification guidelines in spacer patterning technology
K. Hashimoto ; H. Mukai ; S. Miyoshi ; S. Yamaguchi ; H. Mashita
出版情報: Lithography Asia 2008.  2  pp.714022-1-714022-10,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 7140