1.

国際会議録

国際会議録
K. Otsubo ; S. Yamaguchi ; Y. Arisawa ; H. Mukai ; T. Kotani ; H. Mashita ; H. Hashimoto ; T. Kamo ; T. Tsutsui ; O. Ikenaga
出版情報: Photomask and next-generation lithography mask technology XIV.  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6607
2.

国際会議録

国際会議録
S. Miyoshi ; S. Yamaguchi ; T. Hirano ; H. Mashita ; H. Mukai
出版情報: Photomask technology 2008.  1  pp.71220P-1-71220P-8,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 7122
3.

国際会議録

国際会議録
H. Mukai ; Y. Kobayashi ; S. Yamaguchi ; K. Kawano ; K. Hashimoto
出版情報: Photomask and next-generation lithography mask technology XV.  1  pp.702812-1-702812-8,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 7028
4.

国際会議録

国際会議録
K. Hashimoto ; H. Mukai ; S. Miyoshi ; S. Yamaguchi ; H. Mashita
出版情報: Lithography Asia 2008.  2  pp.714022-1-714022-10,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 7140
5.

国際会議録

国際会議録
S. Yamaguchi ; E. Yamanaka ; H. Mukai ; T. Kotani ; H. Mashita
出版情報: Photomask technology 2007.  2  pp.673036-1-673036-12,  2007.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6730