1.

国際会議録

国際会議録
Din, Najeeb-ud ; Kumar, Aatish ; Dunga, Mohan V. ; Rao, V. Ramgopal ; Vasi, J.
出版情報: Silicon materials - processing characterization and reliability : symposium held April 1-5, 2002, San Francisco, California, U.S.A..  pp.3-8,  2002.  Warrendale.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 716
2.

国際会議録

国際会議録
ManjulaRani, K.N. ; Rao, V. Ramgopal ; Vasi, J.
出版情報: Silicon materials - processing characterization and reliability : symposium held April 1-5, 2002, San Francisco, California, U.S.A..  pp.209-214,  2002.  Warrendale.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 716