1.

国際会議録

国際会議録
Obeng, Yaw S. ; Raghavan, R. S.
出版情報: Science and technology of semiconductor surface preparation : symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.145-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 477
2.

国際会議録

国際会議録
Li, Irene ; Forsthoefel, Kersten M. ; Richardson, Kathleen A. ; Obeng, Yaw S. ; Easter, William G. ; Maury, Alvaro
出版情報: Chemical mechanical polishing 2000 -- fundamentals and materials issues : symposium held April 26-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A..  pp.E7.3-,  2001.  Warrendale, PA.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 613