1.

国際会議録
国際会議録
1. Optimization of PECVD SiN Films Using a Statistically Designed Experiment
Brierley, Steven K. ; Kazior, Thomas E. ; Nguyen, Lan
出版情報: Amorphous and crystalline insulating thin films--1996 : symposium held December 2-4, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.121-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 446
2.

国際会議録
国際会議録
2. Characterization of PECVD SiN Films by Spectroscopic Ellipsometry
Brierley, Steven K. ; Nguyen, Lan
出版情報: Amorphous and crystalline insulating thin films--1996 : symposium held December 2-4, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.145-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 446