1.

国際会議録
国際会議録
1. New atomic force microscope method for critical dimension metrology
Morimoto, T. ; Shinaki, T. ; Kembo, Y. ; Hosaka, S.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII.  1  pp.636-643,  2003.  Bellingham, WA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5038
2.

国際会議録
国際会議録
2. New AFM imaging for an inline LSI process monitor
Hosaka, S. ; Morimoto, T. ; Kuroda, H. ; Minomoto, Y. ; Kembo, Y. ; Koyabu, H.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVI.  Part One  pp.492-499,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4689