1.

国際会議録
国際会議録
1. Technological capability and future enhanced performance of HL-7000M
Tanaka, M. ; Asai, S. ; Kawano, H. ; Iizumi, K. ; Oonuki, K. ; Takahashi, H. ; Sato, H. ; Tomiyoshi, R. ; Mizuno, K. ; Matsuoka, G. ; Ohta, H.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology X.  pp.287-296,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5130
2.

国際会議録
国際会議録
2. Recent CD accuracy improvements for HL-7000M
Wang, Z. ; Satoh, H. ; Ito, H. ; Sohda, Y. ; Ohta, H. ; Kawano, H. ; Kadowaki, Y. ; Mizuno, K. ; Matsuzaka, T.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.657-668,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
3.

国際会議録
国際会議録
3. Advanced CD control technologies for EB mask writer
Kawano, H. ; Kadowaki, Y. ; Mizuno, K. ; Ito, H.
出版情報: 24th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.929-934,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5567
4.

国際会議録
国際会議録
4. Improved image placement performance of HL-7000M
Tanaka, M. ; Ito, H. ; Takahashi, H. ; Oonuki, K. ; Kadowaki, Y. ; Sato, H. ; Kawano, H. ; Wang, Z. ; Mizuno, K. ; Matsuoka, G.
出版情報: 23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.646-654,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5256