1.

国際会議録
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1. Advantage in using the combination of HL-800M and CAR process
Asoj, S. ; Kadowaki, Y. ; Kawasaki, K. ; Mizuno, K. ; Satoh, H. ; Hoga, M. ; Ikeda, K. ; Iguchi, E.
出版情報: Photomask and X-Ray Mask Technology VI.  pp.93-100,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3748
2.

国際会議録
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2. Recent CD accuracy improvements for HL-7000M
Wang, Z. ; Satoh, H. ; Ito, H. ; Sohda, Y. ; Ohta, H. ; Kawano, H. ; Kadowaki, Y. ; Mizuno, K. ; Matsuzaka, T.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.657-668,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
3.

国際会議録
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3. Advanced CD control technologies for EB mask writer
Kawano, H. ; Kadowaki, Y. ; Mizuno, K. ; Ito, H.
出版情報: 24th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.929-934,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5567
4.

国際会議録
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4. Improved image placement performance of HL-7000M
Tanaka, M. ; Ito, H. ; Takahashi, H. ; Oonuki, K. ; Kadowaki, Y. ; Sato, H. ; Kawano, H. ; Wang, Z. ; Mizuno, K. ; Matsuoka, G.
出版情報: 23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.646-654,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5256