1.

国際会議録
国際会議録
1. Large-scale metal MEMS mirror arrays with integrated electronics
Bifano, T.G. ; Bierden, P.A. ; Cornelissen, S. ; Dimas, C.E. ; Lee, H. ; Miller, M. ; Perreault, J.A.
出版情報: Design, test, integration, and packaging of MEMS/MOEMS 2002 : 6-8 May, 2002, Cannes, France.  pp.467-476,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4755
2.

国際会議録
国際会議録
2. MEMS spatial light modulators with integrated electronics
Becker, T. ; Bifano, T.G. ; Lee, H. ; Miller, M. ; Bierden, P.A. ; Cornelissen, S.
出版情報: MOEMS and Miniaturized Systems III.  pp.248-258,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4983
3.

国際会議録
国際会議録
3. MEMS spatial light modulators with integrated electronics
Becker, T. ; Bifano, T.G. ; Lee, H. ; Miller, M. ; Bierden, P.A. ; Cornelissen, S.
出版情報: MOEMS Display and Imaging Systems.  pp.193-203,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4985