1.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Ma, Y. ; He, S.S. ; Yasuda, T. ; Stephens, D.J. ; Habermehl, S.
出版情報: Amorphous insulating thin films : symposium held December 1-4, 1992, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.33-38,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 284
2.

国際会議録

国際会議録
Ma, Y. ; Yasuda, T. ; Chen, Y.L. ; Lucovsky, G. ; Maher, D.M.
出版情報: Amorphous insulating thin films : symposium held December 1-4, 1992, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.147-152,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 284
3.

国際会議録

国際会議録
He, S.S. ; Stephens, D.J. ; Lucovsky, G. ; Hamaker, R.W.
出版情報: Amorphous insulating thin films : symposium held December 1-4, 1992, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.413-418,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 284
4.

国際会議録

国際会議録
Williams, M.J. ; Cho, S.M. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1993 : Symposium held April 13-16, San Francisco, California, U.S.A..  pp.759-766,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 297
5.

国際会議録

国際会議録
Kim, S. S. ; Wang, C. ; Parsons, G. N. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1990 : symposium held April 17-20, 1990, San Francisco, California, U.S.A..  pp.373-378,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 192
6.

国際会議録

国際会議録
Theil, J.A. ; Lucovsky, G. ; Hattangady, S.V. ; Fountain, G.G. ; Markunas, R.J.
出版情報: Silicon molecular beam epitaxy : symposium held April 29-May 3, 1991, Anaheim, California, U.S.A..  pp.601-612,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 220
7.

国際会議録

国際会議録
Chen, Y.L. ; Bentley, J. ; Wang, C. ; Lucovsky, G. ; Maher, D.M.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1993 : Symposium held April 13-16, San Francisco, California, U.S.A..  pp.711-716,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 297
8.

国際会議録

国際会議録
Ma, Y. ; Yasuda, T. ; Habermehl, S. ; Lucovsky, G.
出版情報: Photons and low energy particles in surface processing : symposium held Decmber[i.e. December] 3-6, 1991, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.341-348,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 236
9.

国際会議録

国際会議録
Wang, C: ; Bjorkman, C.H. ; Lee, D.R. ; Williams, M.J. ; Lucovsky, G.
出版情報: Chemical perspectives of microelectronic materials II : symposium held November 26-28, 1990, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.277-282,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 204
10.

国際会議録

国際会議録
Choi, S.W. ; Bachmann, K.J. ; Lucovsky, G.
出版情報: Chemical perspectives of microelectronic materials II : symposium held November 26-28, 1990, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.195-200,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 204
11.

国際会議録

国際会議録
Turner, W.A. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1993 : Symposium held April 13-16, San Francisco, California, U.S.A..  pp.521-526,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 297
12.

国際会議録

国際会議録
Rayner, U.B., Jr. ; Kang, D. ; Schultz, M. ; Mai, K. ; Lucovsky, G.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.413-428,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
13.

国際会議録

国際会議録
Boehme, C. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous and heterogeneous silicon thin films - 2000 : symposium held April 24-28, 2000, San Francisco, California, U.S.A..  pp.A26.7-,  2001.  Warrendale.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 609
14.

国際会議録

国際会議録
Hattangady, S. ; Misra, V. ; Yasuda, T. ; Xu, X.L. ; Hornung, B. ; Lucovsky, G. ; Wortman, J.J.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.288-295,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-7
15.

国際会議録

国際会議録
Lu, Z. ; Habermehl, S. ; Lucovsky, G. ; Dietz, N. ; Bachmann, K.J. ; Osgood, R.M.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.416-424,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-7
16.

国際会議録

国際会議録
Parsons, G.N. ; Tsu, D.V. ; Lucovsky, G.
出版情報: Chemical perspectives of microelectronic materials : symposium held November 30-December 2, 1988, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.263-268,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 131
17.

国際会議録

国際会議録
Fitch, J.T. ; Bjorkman, C.H. ; Sumakeris, J.J. ; Lucovsky, G.
出版情報: Thin films : stresses and mechanical properties : symposium held November 28-30, 1988, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.289-294,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 130
18.

国際会議録

国際会議録
Niimi, H. ; Koh, K. ; Lucovsky, G.
出版情報: Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing.  pp.623-630,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-12
19.

国際会議録

国際会議録
Koh, K. ; Niimi, H. ; Lucovsky, G.
出版情報: Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing.  pp.631-638,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-12
20.

国際会議録

国際会議録
He, S.S. ; Stephens, D.J. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1993 : Symposium held April 13-16, San Francisco, California, U.S.A..  pp.871-876,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 297
21.

国際会議録

国際会議録
Stephens, D.J. ; He, S.S. ; Lucovsky, G. ; Mikkelsen, H. ; Leo, K. ; Kurz, H.
出版情報: Silicon-based optoelectronic materials : Symposium held April 12-14, 1993, San Francisco, California, U.S.A..  pp.223-228,  1993.  Pittsburgh, PA.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 298
22.

国際会議録

国際会議録
Parsons, G. N. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon semiconductors -- Pure and hydrogenated : symposium held April 21-24, 1987, Anaheim, California, U.S.A..  pp.341-346,  1987.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 95
23.

国際会議録

国際会議録
Bjorkman, C. H. ; Fitch, J. T. ; Lucovsky, G.
出版情報: Rapid thermal annealing/chemical vapor deposition and integrated processing : sympoisium held April 25-28, 1989, San Diego, California, U.S.A..  pp.197-202,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 146
24.

国際会議録

国際会議録
Tsu, D.V. ; Lucovsky, G. ; Watkins, M.W.
出版情報: Chemical perspectives of microelectronic materials : symposium held November 30-December 2, 1988, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.289-294,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 131
25.

国際会議録

国際会議録
Choi, Seong S. ; Kim, S.S. ; Tsu, D.V. ; Lucovsky, G.
出版情報: Chemical perspectives of microelectronic materials : symposium held November 30-December 2, 1988, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.313-318,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 131
26.

国際会議録

国際会議録
Fitch, J. T. ; Lucovsky, G.
出版情報: Rapid thermal processing of electronic materials : symposium held April 21-23, 1987, Anaheim California, U.S.A..  pp.89-94,  1987.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 92
27.

国際会議録

国際会議録
Tsu, D.V. ; Kim, S.S. ; Theil, J.A. ; Wang, Cheng ; Lucovsky, G.
出版情報: Characterization of plasma-enhanced CVD processes : symposium held Novermber 27-28, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.209-214,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 165
28.

国際会議録

国際会議録
Jing, Z. ; Whitten, J.L. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1992.  pp.287-292,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 258
29.

国際会議録

国際会議録
Davidson, B. N. ; Lucovsky, G. ; Bernholc, J.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1992.  pp.263-268,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 258
30.

国際会議録

国際会議録
Nemanich, R.J. ; Buehler, E.C. ; LeGrice, Y.M. ; Shroder, R.E. ; Parsons, G.N. ; Wang, C. ; Lucovsky, G. ; Boyce, J.B.
出版情報: Materials issues in microcrystalline semiconductors : symposium held November 29-December 1, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.265-270,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 164
31.

国際会議録

国際会議録
Wang, C. ; Lucovsky, G. ; Nemanich, R.J.
出版情報: Amorphous silicon technology 1991 : symposium held April 30-May 3, 1991, Anaheim, California, U.S.A..  pp.751-756,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 219
32.

国際会議録

国際会議録
Bjorkman, C. H. ; Lucovsky, G.
出版情報: Thin films : stresses and mechanical properties III : symposium held December 2-5, 1991, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.81-86,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 239
33.

国際会議録

国際会議録
Tsu, D.V. ; Lucovsky, G.
出版情報: Interfaces, superlattices, and thin films : symposium held December 1-6, 1986, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.595-602,  1987.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 77
34.

国際会議録

国際会議録
Emmerichs, U. ; Meyer, C. ; Leo, K. ; Kurz, H. ; Bjorkman, C.H. ; Shearon, Jr., C.E. ; Ma, Y. ; Yasuda, T. ; Lucovsky, G.
出版情報: Semiconductor heterostructures for photonic and electronic applications : symposium held November 30-December 4, 1992, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.815-820,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 281
35.

国際会議録

国際会議録
Parson, G.N. ; Kusano, C. ; Lucovsky, G.
出版情報: Interfaces, superlattices, and thin films : symposium held December 1-6, 1986, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.589-594,  1987.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 77
36.

国際会議録

国際会議録
Stephens, D.J. ; He, S.S. ; Lucovsky, G. ; Mikkelsen, H. ; Leo, K. ; Kurz, H.
出版情報: Semiconductor heterostructures for photonic and electronic applications : symposium held November 30-December 4, 1992, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.809-814,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 281
37.

国際会議録

国際会議録
Kim, S. S. ; Tsu, D. V. ; Lucovsky, G. ; Fountain., G. G. ; Markunas, R. J
出版情報: Rapid thermal annealing/chemical vapor deposition and integrated processing : sympoisium held April 25-28, 1989, San Diego, California, U.S.A..  pp.327-332,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 146
38.

国際会議録

国際会議録
Yasuda, T. ; Ma, Y. ; Habermehl, S. ; Kim, S.S. ; Lucovsky, G. ; Schneider, T.P. ; Cho, J. ; Nemanich R.J.
出版情報: Evolution of thin-film and surface microstructure : symposium held November 26-December 1, 1990, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.395-400,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 202
39.

国際会議録

国際会議録
Tsu, D. V. ; Lucovsky, G.
出版情報: Plasma processing and synthesis of materials : symposium held April 21-23, 1987, Anaheim, California, U.S.A..  pp.285-290,  1987.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 98
40.

国際会議録

国際会議録
Yasuda, T. ; Ma, Y. ; Habermechl, S. ; Lucovsky, G.
出版情報: Defect engineering in semiconductor growth, processing and device technology : symposium held April 26-May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A..  pp.473-480,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 262
41.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Wang, C.
出版情報: Amorphous silicon technology 1991 : symposium held April 30-May 3, 1991, Anaheim, California, U.S.A..  pp.377-382,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 219
42.

国際会議録

国際会議録
Lee, D.R. ; Bjorkman, C.H. ; Wang, C. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology 1991 : symposium held April 30-May 3, 1991, Anaheim, California, U.S.A..  pp.395-400,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 219
43.

国際会議録

国際会議録
Williams, M.J. ; Wang, C. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology 1991 : symposium held April 30-May 3, 1991, Anaheim, California, U.S.A..  pp.388-394,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 219
44.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Rudder, R.A. ; Cook, Jr., J.W. ; Lin, S.Y.
出版情報: Materials issues in applications of amorphous silicon technology : symposium held April 15-17, 1985, San Francisco, California, U.S.A..  pp.135-144,  1985.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 49
45.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Wang, C. ; Williams, M.J. ; Chen, Y.L. ; Maher, D.M.
出版情報: Microcrystalline semiconductors : materials science & devices : symposium held November 30-December 4, 1992, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.443-454,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 283
46.

国際会議録

国際会議録
Gu, S.Q. ; Viner, J.M. ; Taylor, P.C. ; Williams, M.J. ; Turner, W.A. ; Lucovsky, G.
出版情報: Microcrystalline semiconductors : materials science & devices : symposium held November 30-December 4, 1992, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.579-584,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 283
47.

国際会議録

国際会議録
Turner, W.A. ; Williams, M.J. ; Chen, Y.L. ; Maher, D.M. ; Lucovsky, G.
出版情報: Microcrystalline semiconductors : materials science & devices : symposium held November 30-December 4, 1992, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.567-572,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 283
48.

国際会議録

国際会議録
He, S. S. ; Stephens, D. J. ; Ma. Y. ; Yasuda, T. ; Habermehl, S. ; Lucovsky, G.
出版情報: Defect engineering in semiconductor growth, processing and device technology : symposium held April 26-May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A..  pp.653-658,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 262
49.

国際会議録

国際会議録
Wong, C.K. ; Lucovsky, G.
出版情報: Materials issues in amorphous-semiconductor technology : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A..  pp.77-82,  1986.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 70
50.

国際会議録

国際会議録
Lin, S.Y. ; Lucovsky, G. ; Guha, S. ; Payson, J.S.
出版情報: Materials issues in amorphous-semiconductor technology : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A..  pp.107-112,  1986.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 70
51.

国際会議録

国際会議録
Davidson, B.N. ; Parsons, G.N. ; Wang, C. ; Lucovsky, G.
出版情報: Characterization of plasma-enhanced CVD processes : symposium held Novermber 27-28, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.173-180,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 165
52.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Richard, P.D. ; Tsu, D.V. ; Markunas, R.J.
出版情報: Thin films : interfaces and phenomena : symposium held December 2-6, 1985, Boston, Massachusetts, USA.  pp.529-534,  1985.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 54
53.

国際会議録

国際会議録
Yasuda, T. ; ma, Y. ; Lucovsky, G.
出版情報: Structure and properties of interfaces in materials : symposium held Decmber[i.e. December] 2-5, 1991, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.713-720,  1992.  Pittsburgh.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 238
54.

国際会議録

国際会議録
Lee, D.R. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1992.  pp.979-984,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 258
55.

国際会議録

国際会議録
Davidson, B. N. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1990 : symposium held April 17-20, 1990, San Francisco, California, U.S.A..  pp.279-284,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 192
56.

国際会議録

国際会議録
Wang, Cheng ; Parsons, G.N. ; Buehler, E.C. ; Memanich, R.J. ; Lucovsky, G.
出版情報: Materials issues in microcrystalline semiconductors : symposium held November 29-December 1, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.21-26,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 164
57.

国際会議録

国際会議録
Ma, Y. ; Yasuda, T. ; Habermehl, S. ; He, S.S. ; Stephens, D.J. ; Lucovsky, G.
出版情報: Chemical surface preparation, passivation, and cleaning for semiconductor growth and processing : symposium held April 27-29, 1992, San Francisco, California, U.S.A..  pp.69-74,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 259
58.

国際会議録

国際会議録
Lamb, H.H. ; Kalem, S. ; Bedge, S. ; Yasuda, T. ; Ma, Y. ; Lucovsky, G.
出版情報: Chemical surface preparation, passivation, and cleaning for semiconductor growth and processing : symposium held April 27-29, 1992, San Francisco, California, U.S.A..  pp.75-80,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 259
59.

国際会議録

国際会議録
Kim, Sang S. ; Tsu, D. V. ; Lucovsky, G.
出版情報: SiO[2] and its interfaces : symposium held November 30-December 5, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.121-126,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 105
60.

国際会議録

国際会議録
Tsu, D. V. ; Parsons, G. N. ; Lucovsky, G. ; Watkins, M. W.
出版情報: SiO[2] and its interfaces : symposium held November 30-December 5, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.73-84,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 105
61.

国際会議録

国際会議録
Fitch, J. T. ; Lucovsky, G.
出版情報: SiO[2] and its interfaces : symposium held November 30-December 5, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.151-156,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 105
62.

国際会議録

国際会議録
He, S.S. ; Stephens, D.J. ; Hamaker, R.W. ; Lucovsky, G.
出版情報: Chemical perspectives of microelectric materials III : symposium held November 30-December 3, 1992, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.505-510,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 282
63.

国際会議録

国際会議録
Yasuda, T. ; Lucovsky, G.
出版情報: Chemical perspectives of microelectric materials III : symposium held November 30-December 3, 1992, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.523-528,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 282
64.

国際会議録

国際会議録
Osburn, C.M. ; Han, S.K. ; Kim, I. ; Campbell, S.A. ; Garfunkel, E. ; Gustafson, T. ; Hauser, J. ; King, T.-J. ; Liu, Q. ; Ranade, P. ; Kingon, A. ; Kwong, D.-L. ; Lee, S.J. ; Lee, C.H. ; Lee, J. ; Onishi, K. ; Kang, C.S. ; Choi, R. ; Cho, H. ; Nich, R. ; Lucovsky, G. ; Hong, J.G. ; Ma, T.P. ; Zhu, W. ; Luo, Z. ; Maria, J.P. ; Wicaksana, D. ; Misra, V. ; Lee, J.J. ; Suh, Y.S. ; Parksons, G. ; Niu, D. ; Stemmer, S.
出版情報: ULSI Process Integration : proceedings of the International Symposium.  pp.375-390,  2003.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-6
65.

国際会議録

国際会議録
Parsons, G.N. ; Lucovsky, G.
出版情報: Characterization of plasma-enhanced CVD processes : symposium held Novermber 27-28, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.85-90,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 165
66.

国際会議録

国際会議録
Parsons, G. N. ; Kim, S. S. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1989 : symposium held April 25-28, 1989, San Diego, California, U.S.A..  pp.265-270,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 149
67.

国際会議録

国際会議録
Parsons, G.N. ; Tsu, D.V. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology : symposium held April 5-8, 1988, Reno, Nevada, U.S.A..  pp.37-42,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 118
68.

国際会議録

国際会議録
Wang, C. ; Parsons, G. N. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1989 : symposium held April 25-28, 1989, San Diego, California, U.S.A..  pp.75-80,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 149
69.

国際会議録

国際会議録
Ma, Y. ; Yasuda, T. ; Habermehl, S. ; Lucovsky, G.
出版情報: Phase formation and modification by beam-solid interactions : symposium held December 2-6, 1991, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.799-806,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 235
70.

国際会議録

国際会議録
Cho, S.M. ; Davidson, B.N. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1992.  pp.583-588,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 258
71.

国際会議録

国際会議録
Burnham, N.A. ; Fisher, R.F. ; Asher, S.E. ; Kazmerski, L.L. ; Lucovsky, G. ; Parsons, G.N.
出版情報: Interfaces, superlattices, and thin films : symposium held December 1-6, 1986, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.691-696,  1987.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 77
72.

国際会議録

国際会議録
Jing, Z. ; Lucovsky, G. ; Whitten, J. L.
出版情報: Defect and impurity engineered semiconductors and devices : symposium held April 17-21, 1995, San Francisco, California, U.S.A..  pp.851-,  1995.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 378
73.

国際会議録

国際会議録
Niimi, H. ; Koh, K. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous and crystalline insulating thin films--1996 : symposium held December 2-4, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.103-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 446
74.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Santos-Filho, P. ; Banerjee, A. ; Jing, Z.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1996 : symposium held April 8-12, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.503-,  1996.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 420
75.

国際会議録

国際会議録
Banerjee, A. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1996 : symposium held April 8-12, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.405-,  1996.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 420
76.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Hinds, B.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing VI : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.355-,  1997.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 470
77.

国際会議録

国際会議録
Wolfe, D. ; Flock, K. ; Therrien, R. ; Johnson, R. ; Rayner, B. ; Gunther, L. ; Brown, N. ; Claflin, B. ; Lucovsky, G.
出版情報: Ultrathin SiO[2] and high-K materials for USLI gate dielectrics : symposium held April 5-8, 1999, in San Francisco, California, U.S.A..  pp.343-,  1999.  Warrendale, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 567
78.

国際会議録

国際会議録
Wolfe, D. M. ; Wang, F. ; Lucovsky, G.
出版情報: Polycrystalline thin films : structure, texture, properties and applications III : symposium held March 31-April 3, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.427-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 472
79.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Yang, H.
出版情報: Amorphous and microcrystalline silicon technology - 1998 : symposium held April 14-17, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.715-,  1999.  Warrendale.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 507
80.

国際会議録

国際会議録
Koh, K. ; Niimi, H. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous and crystalline insulating thin films--1996 : symposium held December 2-4, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.267-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 446
81.

国際会議録

国際会議録
Stevens, G. ; Santos-Filho, P. ; Habermehl, S. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1995 : Symposium held April 18-21, 1995, San Francisco, California, U.S.A..  pp.313-,  1995.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 377
82.

国際会議録

国際会議録
Hattangady, S. V. ; Niimi, H. ; Gandhi, S. ; Lucovsky, G.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing IV : symposium held April 17-20, 1995, San Francisco, California, U.S.A..  pp.213-,  1995.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 387
83.

国際会議録

国際会議録
Brillson, L. J. ; Young, A. P. ; Schafer, J. ; Niimi, H. ; Lucovsky, G.
出版情報: Ultrathin SiO[2] and high-K materials for USLI gate dielectrics : symposium held April 5-8, 1999, in San Francisco, California, U.S.A..  pp.549-,  1999.  Warrendale, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 567
84.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Yang, H.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1996 : symposium held April 8-12, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.629-,  1996.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 420
85.

国際会議録

国際会議録
Banerjee, A. ; Lucovsky, G.
出版情報: Diagnostic techniques for semiconductor materials processing II : symposium held November 27-30, 1995, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.63-,  1996.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 406
86.

国際会議録

国際会議録
Santos-Filho, P. ; Koh, K. ; Stevens, G. ; Lucovsky, G.
出版情報: Diagnostic techniques for semiconductor materials processing II : symposium held November 27-30, 1995, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.57-,  1996.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 406
87.

国際会議録

国際会議録
Hinds, B. J. ; Aspnes, D. E. ; Lucovsky, G.
出版情報: Science and technology of semiconductor surface preparation : symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.191-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 477
88.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Yasuda, T. ; Ma, Y. ; Hattangady, S. V. ; Xu, X-L. ; Misra, V. ; Hornung, B. ; Wortman, J. J.
出版情報: Interface control of electrical, chemical, and mechanical properties : symposium held November 29-December 3, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.81-,  1994.  Pittsburgh.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 318
89.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Parker, C. R. ; Wu, Y. ; Hauser, J. R.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing VII : symposium held April 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.187-,  1998.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 525
90.

国際会議録

国際会議録
Schafer, J. ; Young, A. P. ; Brillson, L. J. ; Niimi, H. ; Lucovsky, G.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing VII : symposium held April 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.151-,  1998.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 525
91.

国際会議録

国際会議録
Yee, K. F. ; Osburn, C. M. ; Masnari, N. A. ; Hauser, J. R. ; Parker, C. G. ; Lucovsky, G. ; Henson, W. K. ; Wortman, J. J. ; Kippenberg, T. ; Kuerschner, S.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing VII : symposium held April 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.157-,  1998.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 525
92.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Yang, H.
出版情報: Low-dielectric constant materials II : symposium held December 2-3, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.111-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 443
93.

国際会議録

国際会議録
Wolfe, D. M. ; Wang, F. ; Hinds, B. J. ; Lucovsky, G.
出版情報: Power semiconductor materials and devices : symposium held December 1-4, 1997, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.203-,  1998.  Warrendale, Penn..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 483
94.

国際会議録

国際会議録
Claflin, B. ; Binger, M. ; Lucovsky, G.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing VII : symposium held April 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.219-,  1998.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 525
95.

国際会議録

国際会議録
Yang, H. ; Niimi, H. ; Wu, Y. ; Lucovsky, G.
出版情報: Ultrathin SiO[2] and high-K materials for USLI gate dielectrics : symposium held April 5-8, 1999, in San Francisco, California, U.S.A..  pp.241-,  1999.  Warrendale, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 567
96.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Phillips, J. C.
出版情報: Ultrathin SiO[2] and high-K materials for USLI gate dielectrics : symposium held April 5-8, 1999, in San Francisco, California, U.S.A..  pp.201-,  1999.  Warrendale, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 567
97.

国際会議録

国際会議録
Claflin, B. ; Binger, M. ; Lucovsky, G. ; Yang, H.-Y.
出版情報: Silicon front-end technology--materials processing and modelling, symposium held April 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.171-,  1998.  Warrendale, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 532
98.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Wolfe, D. ; Hinds, B.
出版情報: Microcrystalline and nanocrystalline semiconductors--1998 : symposium held November 30-December 3, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.111-,  1999.  Warrendale, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 536
99.

国際会議録

国際会議録
Wolfe, D. ; Wang, F. ; Lucovsky, G.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing V : symposium held April 8-12, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.361-,  1996.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 429
100.

国際会議録

国際会議録
Yasuda, T. ; Lee, D. R. ; Bjorkman, C. H. ; Ma, Y. ; Lucovsky, G. ; Emmerichs, U. ; Meyer, C. ; Leo, K. ; Kurz, H.
出版情報: Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing.  pp.375-,  1993.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 315