1.

国際会議録

国際会議録
Liu X. ; Suo C. ; Zhang Y. ; Lu X. ; Xia H.
出版情報: MEMS, MOEMS, and Micromachining II.  pp.61860T-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6186
2.

国際会議録

国際会議録
Zhang Y. ; Liu X. ; Suo C. ; Lu X. ; Xia H.
出版情報: MEMS, MOEMS, and Micromachining II.  pp.61860U-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6186