1.

国際会議録
国際会議録
1. Influence of Hydrogen Plasma Treatment on He Implantation-Induced Nanocavities in Silicon
Vengurlekar, A. ; Ashok, S. ; Liu, C.L. ; Ntsoenzok, E. ; Barthe, M.F. ; Desgardin, P. ; Ruault, M.O.
出版情報: Radiation effects and ion-beam processing of materials : symposium held December 1-5, 2003, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.183-188,  2004.  Warrendale, PA.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 792
2.

国際会議録
国際会議録
2. Impact of Hydrogen Plasma Treatment on Gettering by He Implantation-Induced Cavities in Silicon
Alquier, D. ; Ntsoeazok, E. ; Liu, C.L. ; Vengurlekar, A. ; Ashok, S.
出版情報: Hydrogen in semiconductors : symposium held April 13-14, 2004, San Francisco, California, U.S.A..  pp.55-60,  2004.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 813