1.

国際会議録
国際会議録
1. Control of stresses in highly doped multilayer polysilicon structures used in MEMS applications
Chen,L. ; Guo,L. ; Miao,J.M. ; Lin,R.
出版情報: Smart materials.  pp.232-238,  2000.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4234
2.

国際会議録
国際会議録
2. Design considerations in micromachined silicon microphones
Miao,J. ; Lin,R. ; Chen,L. ; Zou,Q. ; Lim,S.Y. ; Seah,S.H.
出版情報: Design, modeling, and simulation in microelectronics : 28-30 November 2000, Singapore.  pp.309-314,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4228