1.

国際会議録

国際会議録
Lee, S.J. ; Luan, H.F. ; Lee, C.H ; Senzoki, Y ; Roberts, D. ; Kwong, D.-L.
出版情報: Rapid thermal and other short-time processing technologies : proceedings of the international symposium.  pp.263-270,  2000.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-9
2.

国際会議録

国際会議録
Lee, S.J. ; Luan, H.F. ; Mao, A. ; Jeon, T.S. ; Lee, C.H. ; Vrtis, R. ; Roberts, D. ; Kwong, D.-L.
出版情報: Rapid thermal and other short-time processing technologies : proceedings of the international symposium.  pp.283-290,  2000.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-9
3.

国際会議録

国際会議録
Osburn, C.M. ; Han, S.K. ; Kim, I. ; Campbell, S.A. ; Garfunkel, E. ; Gustafson, T. ; Hauser, J. ; King, T.-J. ; Liu, Q. ; Ranade, P. ; Kingon, A. ; Kwong, D.-L. ; Lee, S.J. ; Lee, C.H. ; Lee, J. ; Onishi, K. ; Kang, C.S. ; Choi, R. ; Cho, H. ; Nich, R. ; Lucovsky, G. ; Hong, J.G. ; Ma, T.P. ; Zhu, W. ; Luo, Z. ; Maria, J.P. ; Wicaksana, D. ; Misra, V. ; Lee, J.J. ; Suh, Y.S. ; Parksons, G. ; Niu, D. ; Stemmer, S.
出版情報: ULSI Process Integration : proceedings of the International Symposium.  pp.375-390,  2003.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-6