1.
国際会議録
Kang, H.-J. ; Lee, S.-W. ; Lee, D.-Y. ; Yeo, G.-S. ; Lee, J.-H. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S. ; Moon, J.-T.
出版情報:
Optical Microlithography XVI . Part Two pp.1194-1201, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5040
2.
国際会議録
Lee, S.-W. ; Kim, I.S. ; Lee, J.-H. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S.
出版情報:
22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology . Part One pp.209-220, 2002. Bellingham, WA. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4889
3.
国際会議録
Lee, E.-M. ; Lee, S.-W. ; Lee, D.-Y. ; Choi, S.-H. ; Park, J.-O. ; Jung, S.-G. ; Yeo, G.-S. ; Lee, J.-H. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S.
出版情報:
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII . pp.287-295, 2004. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5375
4.
国際会議録
Kim, S.-W. ; Lee, S.-W. ; Park, C.-M. ; Choi, S.-H. ; Lee, Y.-M. ; Kang, Y. ; Yeo, G.-S. ; Lee, J.-H. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S.
出版情報:
Optical Microlithography XVII . pp.1157-1164, 2004. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5377