1.
国際会議録
Choi, Y.-H. ; Sung, M.-K. ; Lee, S.-H. ; Lee, J.-H. ; Park, J.-H. ; Choi, I.-H. ; Moon, S.-Y. ; Choi, S.-W. ; Han, W.-S.
出版情報:
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIX . pp.351-362, 2005. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5752
2.
国際会議録
Kim, S.-H. ; Kim, H.-D. ; Lee, S.-H. ; Park, C.-M. ; Ryoo, M.-H. ; Yeo, G.-S. ; Lee, J.-H. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S. ; Moon, J.-T.
出版情報:
Advances in Resist Technology and Processing XXI . pp.1082-1090, 2004. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5376
3.
国際会議録
Jung, M.-H. ; Lee, S.-H. ; Kim, H.-W. ; Woo, S.-G. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S.
出版情報:
Advances in Resist Technology and Processing XX . 2 pp.1298-1303, 2003. Bellingham, CA. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5039
4.
国際会議録
Kim, S.-H. ; Lee, S.-H. ; Yeo, G.-S. ; Lee, J.H. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S. ; Moon, J.-T.
出版情報:
Advances in Resist Technology and Processing XX . 2 pp.940-947, 2003. Bellingham, CA. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5039
5.
国際会議録
Kim, H.-D. ; Lee, S.-H. ; Choi, S.-J. ; Lee, J.-H. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S. ; Moon, J.-T.
出版情報:
Advances in Resist Technology and Processing XX . 2 pp.827-837, 2003. Bellingham, CA. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5039
6.
国際会議録
Hong, J. ; Kim, H.-W. ; Lee, S.-H. ; Woo, S.-G. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S.
出版情報:
Advances in Resist Technology and Processing XX . 1 pp.249-256, 2003. Bellingham, CA. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5039