1.

国際会議録
国際会議録
1. Selective Etching of Wide-Bandgap Nitrides
Shul, R. J. ; Willison, C. G. ; Bridges, M. M. ; Han, J. ; Lee, J. W. ; Pearton, S. J. ; Abernathy, C. R. ; MacKenzie, J. D. ; Donovan, S. M.
出版情報: Power semiconductor materials and devices : symposium held December 1-4, 1997, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.155-,  1998.  Warrendale, Penn..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 483
2.

国際会議録
国際会議録
2. In Situ Monitoring of Etch Byproducts During Reactive Ion Beam Etching of GaAs in Chlorine/Argon
Lee, J. W. ; Pearton, S. J. ; Abernathy, C. R. ; Vawter, G. A. ; Shul, R. J. ; Bridges, M. M. ; Willison, C. G.
出版情報: Power semiconductor materials and devices : symposium held December 1-4, 1997, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.191-,  1998.  Warrendale, Penn..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 483
3.

国際会議録
国際会議録
3. Hydrogenation and Defect Creation in GaAs-Based Devices During High-Density Plasma Processing
Maeda, T. ; Lee, J. W. ; Abernathy, C. R. ; Pearton, S. J. ; Ren, F. ; Constantine, C. ; Shul, R. J.
出版情報: Defect and impurity engineered semiconductors, II : symposium held April 13-17, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.209-,  1998.  Warrendale, Pa.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 510
4.

国際会議録
国際会議録
4. Properties of H, O and C in GaN
Pearton, S. J. ; Abernathy, C. R. ; Lee, J. W. ; Vartuli, C. B. ; MacKenzie, J. D. ; Ren, F. ; Wilson, R. G. ; Zavada, J. M. ; Shul, R. J. ; Zolper, J. C.
出版情報: Compound semiconductor electronics and photonics : symposium held April 8-10, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.347-,  1996.  Pittsburgh, Penn.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 421
5.

国際会議録
国際会議録
5. Comparison of ICI and Ibr for Dry Etching of III-Nitrides
Vartuli, C. B. ; Lee, J. W. ; MacKenzie, J. D. ; Pearton, S. J. ; Abernathy, C. R. ; Shul, R. J.
出版情報: III-V nitrides : symposium held December 2-6, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.1023-,  1997.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 449
6.

国際会議録
国際会議録
6. Plasma Chemistries for Dry Etching GaN, AlN, InGaN and InAlN
Pearton, S. J. ; Vartuli, C. B. ; Lee, J. W. ; Donovan, S. M. ; MacKenzie, J. D. ; Abernathy, C. R. ; Shul, R. J. ; McLane, G. F. ; Ren, F.
出版情報: Compound semiconductor electronics and photonics : symposium held April 8-10, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.309-,  1996.  Pittsburgh, Penn.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 421
7.

国際会議録
国際会議録
7. Chemical Etching of AlN and InAlN in KOH Solutions
Vartuli, C. B. ; Lee, J. W. ; MacKenzie, J. D. ; Pearton, S. J. ; Abernathy, C. R. ; Zolper, J. C. ; Shul, R. J. ; Ren, F.
出版情報: III-V nitrides : symposium held December 2-6, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.1017-,  1997.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 449
8.

国際会議録
国際会議録
8. Chlorine-Based Plasma Etching of GaN
Shul, R. J. ; Briggs, R. D. ; Pearton, S. J. ; Vartuli, C. B. ; Abernathy, C. R. ; Lee, J. W. ; Constantine, C. ; Barratt, C.
出版情報: III-V nitrides : symposium held December 2-6, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.969-,  1997.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 449
9.

国際会議録
国際会議録
9. GaN Etching in BCl3/Cl2 Plasmas
Shul, R. J. ; Ashby, C. I. H. ; Willison, C. G. ; Zhang, L. ; Han, J. ; Bridges, M. M. ; Pearton, S. J. ; Lee, J. W. ; Lester, L. F.
出版情報: Wide-bandgap semiconductors for high power, high frequency, and high temperature : symposium held April 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.487-,  1998.  Warrendale, Penn..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 512
10.

国際会議録
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10. Comparison of Dry-Etch Techniques for GaN, InN, and AlN
Shul, R. J. ; Vawter, G. A. ; Willison, C. G. ; Bridges, M. M. ; Lee, J. W. ; Pearton, S. J. ; Abernathy, C. R.
出版情報: Power semiconductor materials and devices : symposium held December 1-4, 1997, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.103-,  1998.  Warrendale, Penn..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 483