1.

国際会議録
国際会議録
1. Preparation of Ultrathin Oxide Films by Low-Temperature Remote Plasma-Assisted Process
Niimi, H. ; Koh, K. ; Lucovsky, G.
出版情報: Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing.  pp.623-630,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-12
2.

国際会議録
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2. Controlled Nitrogen Incorporation at Si-SiO2 Interfaces by Re- mote Plasma Assisted Processing
Koh, K. ; Niimi, H. ; Lucovsky, G.
出版情報: Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing.  pp.631-638,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-12
3.

国際会議録
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3. Liquid Sensor in Multi-Functional Integrated Circuit
Kaneshiro, C. ; Koh, K. ; Yamamura, A. ; Matsumoto, K. ; Hohkawa, K.
出版情報: Microfabricated systems and MEMS VII : proceedings of the international symposium.  pp.324-329,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-09
4.

国際会議録
国際会議録
4. Controlled Incorporation of Nitrogen at the Top Surface of Silicon Oxide Gate Dielectrics
Niimi, H. ; Koh, K. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous and crystalline insulating thin films--1996 : symposium held December 2-4, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.103-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 446
5.

国際会議録
国際会議録
5. Reaction Pathways for Nitrogen Incorporation at Si-SiO2 Interfaces
Koh, K. ; Niimi, H. ; Lucovsky, G.
出版情報: Amorphous and crystalline insulating thin films--1996 : symposium held December 2-4, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.267-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 446
6.

国際会議録
国際会議録
6. Process Definition for Obtaining Ultrathin Silicon Oxides Using Full-Wafer Electrical and Optical Measurements
Oberhofer, A. ; Chen, J. ; Koh, K. ; Schrader, M. ; Shah, S. ; Venables, R. ; Young, C. ; Xu, M. ; Kuehn, R. ; Maher, D. ; Venables, D.
出版情報: Ultrathin SiO[2] and high-K materials for USLI gate dielectrics : symposium held April 5-8, 1999, in San Francisco, California, U.S.A..  pp.573-,  1999.  Warrendale, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 567
7.

国際会議録
国際会議録
7. Hydrogen Assisted Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Amorphous Silicon Nitride Films
Santos-Filho, P. ; Koh, K. ; Stevens, G. ; Lucovsky, G.
出版情報: Diagnostic techniques for semiconductor materials processing II : symposium held November 27-30, 1995, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.57-,  1996.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 406
8.

国際会議録
国際会議録
8. Hydrogen Release and Si-N Bond-Healing Infrared Study of Rapid Thermal Annealed Amorphous Silicon Nitride Thin Films
Santos-Filho, P. ; Stevens, G. ; Lu, Z. ; Koh, K. ; Lucovsky, G.
出版情報: Thermodynamics and kinetics of phase transformations : symposium held November 27-December 1, 1995, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.345-,  1996.  Pittsburgh, Penn..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 398
9.

国際会議録
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9. Bonded-H in Gate Dielectrics Deposited by Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition and Subjected to Rapid Thermal Annealing
Lucovsky, G. ; Nimi, H. ; Koh, K.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing V : symposium held April 8-12, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.233-,  1996.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 429
10.

国際会議録
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10. Nitrogen at Si-SiO2 Interfaces: Chemical Bonding and Electrical Performance
Lucovsky, G. ; Niimi, H. ; Koh, K. ; Lee, D.R. ; Jing, Z.
出版情報: The physics and chemistry of SiO[2] and the Si-SiO[2] interface-3, 1996 : proceedings of the Third International Symposium on the Physics and Chemistry of SiO[2] and the Si-SiO[2] Interface.  pp.441-455,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-1
11.

国際会議録
国際会議録
11. Development of SH-SAW sensors for measurement of the properties of protein solutions (Keynote Address)
Roh, Y. ; Kwon, Y. ; Kim, K. ; Koh, K. ; Kim, J.
出版情報: Smart structures and materials 2003 : Smart electronics, MEMS, BioMEMS, and nanotechnology : 3-6 March 2003, San Diego, California, USA.  pp.98-105,  2003.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5055
12.

国際会議録
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12. Considering user access pattern in multimedia file systems
Cho, K.W. ; Ryu, Y.S. ; Won, Y.J. ; Koh, K.
出版情報: Multimedia Systems and Applications V.  pp.95-106,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4861